HT系列高溫源可提供1700~2000℃的高溫來(lái)加熱固態(tài)材料，使其達(dá)到Sc，Ti，等難熔金屬的蒸發(fā)溫度。加熱區(qū)通常采用耐高溫、低蒸氣壓材料，如鉭、鎢，可確保高溫下不會(huì)帶來(lái)雜質(zhì)污染。采用自支撐的加熱絲，可避免在高溫區(qū)域使用絕緣材料。絕緣陶瓷材料如PBN，被嚴(yán)格限制在溫度較低區(qū)域使用，防止材料高溫分解放氣。此外，坩堝可以選用耐高溫金屬或陶瓷材料，建議根據(jù)目標(biāo)蒸發(fā)材料選用合適的坩堝材質(zhì)，對(duì)于反應(yīng)活性較高的材料，通常使用具有陶瓷內(nèi)襯的復(fù)合式金屬坩堝。
| ● 超高真空兼容 | ● 工作溫度區(qū)間：500℃-2000℃ | ● 自支撐加熱絲 |
| ● 與電子束蒸發(fā)源相比，低成本的解決方案 |
| 蒸發(fā)源型號(hào) | HT26 | |
| 坩堝容積 (cc) | 26 | |
| 安裝法蘭尺寸 | CF63 (不含裂解區(qū)水冷) | |
| 真空內(nèi)長(zhǎng)度 (mm) | 336.5 | |
| 真空內(nèi)外徑 (mm) | 50.8 | |
坩堝尺寸 (mm) | 直徑 | 25.4 |
| 高度 | 76.2 | |
| 坩堝材質(zhì) | PBN | |
| 坩堝形狀 | 瓶狀坩堝 | |
| 加熱方式 | 螺旋絲輻射加熱 | |
| 熱電偶 | C型/W-Re 5%-26% | |
| 溫度穩(wěn)定性 | ≤±0.5℃ | |
| 工作溫度 | 300-1350℃ | |
| 最高除氣溫度 | 2000℃ | |
| 烘烤溫度 | 250℃ | |
| 訂購(gòu)編碼 | 3100190068 | |
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