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產(chǎn)品概述：

直線(xiàn)互聯(lián)系統(tǒng)與圓型傳樣系統(tǒng)互為補(bǔ)充，均可實(shí)現(xiàn)樣品在超高真空的環(huán)境下在不同系統(tǒng)間的傳遞，但是側(cè)重點(diǎn)略有不同。圓形傳樣系統(tǒng)相對(duì)較為緊湊，適合于小型實(shí)驗(yàn)室級(jí)別的互聯(lián)搭建；直線(xiàn)互聯(lián)系統(tǒng)單次傳遞的樣品尺寸和數(shù)量更多，適合于較大型的互聯(lián)搭建。同時(shí)圓形傳樣系統(tǒng)和直線(xiàn)傳樣系統(tǒng)也能實(shí)現(xiàn)互相搭配，例如圓形搭配直線(xiàn)，圓形搭配圓形，或者直線(xiàn)再擴(kuò)展。費(fèi)勉儀器已經(jīng)有豐富的設(shè)計(jì)和搭建經(jīng)驗(yàn)和案例供用戶(hù)參考。

產(chǎn)品概述：

真空控制及保護(hù)系統(tǒng)，集成真空規(guī)信號(hào)、分子泵控制、蒸發(fā)源保護(hù)、烘烤保護(hù)等功能。包含蒸發(fā)源、樣品架的溫度控制軟件，包含擋板控制軟件，熱風(fēng)式烘烤模塊，烘烤溫度均勻，拆裝方便。

產(chǎn)品概述：

FERMI-RFPS-200是費(fèi)勉儀器公司最新生產(chǎn)的一種高效射頻等離子體源，通過(guò)線(xiàn)圈式結(jié)構(gòu)，能在真空腔體內(nèi)激發(fā)產(chǎn)生等離子體，激勵(lì)氣體種類(lèi)包括但不限于H₂、N₂、O₂、稀有氣體等，具有更好的穩(wěn)定性以及更精確的操控性，廣泛應(yīng)用于分子束外延系統(tǒng)（MBE）中氮化物生長(zhǎng)、氮原子注入和摻雜、氧化物生長(zhǎng)、氧原子的注入和摻雜、氫化物生長(zhǎng)以及氫原子表面清洗等。

產(chǎn)品概述：

費(fèi)勉儀器提供的6軸閉循環(huán)低溫樣品架可以實(shí)現(xiàn)樣品位置以及姿態(tài)的精確控制，它主要由低溫樣品桿、溫度控制系統(tǒng)、XYZ-R1位移臺(tái)、馬達(dá)控制系統(tǒng)四部分組成。整個(gè)樣品架及位移臺(tái)均使用無(wú)磁材料，可以在超高真空下使用。樣品臺(tái)可以在X、Y、Z方向大范圍移動(dòng)，并可實(shí)現(xiàn)繞三個(gè)軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)（旋轉(zhuǎn)角R1、俯仰角R2、面內(nèi)旋轉(zhuǎn)角R3）。

產(chǎn)品概述：

桌面減震型低溫光學(xué)恒溫器，采用GM制冷機(jī)做冷源，無(wú)液氦消耗。多級(jí)隔振設(shè)計(jì)使樣品臺(tái)震動(dòng)小于200nm。樣品臺(tái)最低溫度達(dá)3.6K。