作為碳熱裂解源的替代解決方案，CBr4源無需使用載氣，可通過直接蒸發(fā)在砷化鎵和鋁鎵砷等材料中實(shí)現(xiàn)深能級(jí)碳摻雜，非常適用摻雜精度要求高、重復(fù)性高的材料體系?？蓪?shí)現(xiàn)64種氣體流量以滿足不同工藝使用需求，其中氣路控制面板及其配件均集成在特氣柜中，放置在MBE系統(tǒng)附近即可。CBr4氣罐采用水浴機(jī)進(jìn)行加熱，整個(gè)氣路管道使用加熱帶加熱，防止管道內(nèi)溫度降低造成的冷凝，導(dǎo)入器也通過彈簧發(fā)熱圈進(jìn)行加熱。由于工藝過程中使用的氣量較少，MBE腔室上不需額外配備泵組，但產(chǎn)生的廢氣通過耐受腐蝕氣體泵體從酸排口排出。
| ● 摻雜精度高，重復(fù)性好；可涵蓋深、淺摻雜能級(jí) | ● 束流大小可精準(zhǔn)調(diào)節(jié)；安全可靠，易于操作 |
| 適用系統(tǒng) | 所有研發(fā)及生產(chǎn)型MBE系統(tǒng) | |
| 適用氣體源 | CBr4 | |
| 最小安裝法蘭尺寸 | CF35 | |
| 真空內(nèi)長(zhǎng)度 (mm) | 318-517 | |
| 真空內(nèi)外徑 (mm) | 25 | |
| 常用工作溫度 | 30-200℃ | |
| 最高除氣溫度 | 54 | |
| 訂購編碼 | 3205010172 | |
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