蒸發(fā)源快門利用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)柔性波紋管進(jìn)行拉伸和壓縮，帶動(dòng)快門擋板向上或向下運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)完全打開或關(guān)斷束流。電機(jī)軟控制可以降低擋板抖動(dòng)程度，避免材料掉落及顆粒產(chǎn)生。不同材料體系對(duì)于擋板和支撐桿可以進(jìn)行定制?？扉T擋板關(guān)閉位置需距離蒸發(fā)源口部盡可能的遠(yuǎn)，以最大程度降低打開擋板時(shí)束流瞬變大小，但擋板尺寸足夠大可確保完全遮擋束流。
| ● 關(guān)閉時(shí)完全遮擋束流 | ● 機(jī)械結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單 | ● 無(wú)粉塵產(chǎn)生 |
| ● 可減小束流瞬變 | ● 性能可靠>100萬(wàn)次開關(guān)壽命 |
| 安裝法蘭 | CF63 | CF100 | VAC7000 | CF150 | CF200 | |
| 適用系統(tǒng) | MBE600 | MBE800 | MBE800P | MBE1000 | MBE2000 | |
| 擋片材質(zhì) | 高純鉭 | |||||
| 驅(qū)動(dòng)方式 | 步進(jìn)電機(jī) | |||||
| 開關(guān)速度 | ＜1000ms | |||||
| 開關(guān)同步性 | ＜25ms | |||||
| 訂購(gòu)編碼 | 3205010033 | 3205010173 | 3205010175 | 3205010176 | 3205010177 | |
收到資料后，我們的銷售人員/產(chǎn)品工程師將與您聯(lián)系
部分產(chǎn)品可根據(jù)您的需求定制
您的資料將全程保密
EN
021-6525 3206
您當(dāng)前位置：
全國(guó)服務(wù)熱線
