蒸發(fā)源快門利用步進電機驅動柔性波紋管進行拉伸和壓縮，帶動快門擋板向上或向下運動，從而實現(xiàn)完全打開或關斷束流。電機軟控制可以降低擋板抖動程度，避免材料掉落及顆粒產(chǎn)生。不同材料體系對于擋板和支撐桿可以進行定制。快門擋板關閉位置需距離蒸發(fā)源口部盡可能的遠，以最大程度降低打開擋板時束流瞬變大小，但擋板尺寸足夠大可確保完全遮擋束流。
| ● 關閉時完全遮擋束流 | ● 機械結構簡單 | ● 無粉塵產(chǎn)生 |
| ● 可減小束流瞬變 | ● 性能可靠>100萬次開關壽命 |
| 安裝法蘭 | CF63 | CF100 | VAC7000 | CF150 | CF200 | |
| 適用系統(tǒng) | MBE600 | MBE800 | MBE800P | MBE1000 | MBE2000 | |
| 擋片材質 | 高純鉭 | |||||
| 驅動方式 | 步進電機 | |||||
| 開關速度 | ＜1000ms | |||||
| 開關同步性 | ＜25ms | |||||
| 訂購編碼 | 3205010033 | 3205010173 | 3205010175 | 3205010176 | 3205010177 | |
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