VPC系列閥式裂解源為P材料蒸發(fā)設計，可在超高真空環(huán)境下提供有效、穩(wěn)定的磷束流。紅磷材料在大容量坩堝內(nèi)加熱后形成磷蒸汽，在白磷區(qū)氣冷夾層的冷凝作用下轉化為束流更為穩(wěn)定的白磷，經(jīng)過束流調(diào)節(jié)閥進入裂解區(qū)高溫裂解后形成反應活性高的P2束流。VPC裂解源的閥門可實現(xiàn)束流瞬態(tài)變化與完全關閉的精確控制，另外閥門自帶力矩反饋，可實現(xiàn)全自動零位校準。獨特設計的擴散板結構可控制束流分布狀態(tài)，提高束流均勻性。
| ● 高精度束流控制閥門 | ● 三溫區(qū)獨立控溫，裂解區(qū)最高溫可達1400℃ | ● 適用于大容量坩堝 |
| ● 溫度穩(wěn)定性優(yōu)于±0.2℃ | ● 裂解區(qū)配備獨立水冷套，水冷可單獨拆卸 |
| 蒸發(fā)源型號 | VPC500 | VPC5000 | |
| 坩堝容積 (cc) | 500 | 5000 | |
| 安裝法蘭尺寸 | CF35 | CF100 | |
| 真空內(nèi)長度 (mm) | 306 | 271.1 | |
| 真空內(nèi)外徑 (mm) | 36.4 | 62 | |
坩堝尺寸 (mm) | 直徑 | 58 | 59.5 |
| 高度 | 90.5 | 156 | |
| 最高除氣 溫度(℃) | 裂解區(qū) | 1200 | |
| 白磷區(qū) | 500 | ||
| 紅磷區(qū) | / | ||
常用工作 溫度(℃) | 裂解區(qū) | 800-1000 | 900-1000 |
| 白磷區(qū) | 150-200 | ||
| 紅磷區(qū) | 150-200 | 150-250 | |
| 溫度穩(wěn)定性 | ≤±0.2℃ | ||
| 閥門驅動器 | 步進電機 | ||
| 束流變化范圍 | 2-3個數(shù)量級變化 | ||
| 水冷套 | 蒸發(fā)區(qū)配備標準水冷套，裂解區(qū)水冷套可選配 | ||
| 烘烤溫度 | 250℃ | ||
| 訂購編碼 | 3205010069 | 3205010039 | |
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