VCC系列腐蝕性裂解源，通常適用于Sb、Te、Mg、CdTe等腐蝕性材料蒸發(fā)。固態(tài)材料在大容量坩堝內(nèi)加熱后產(chǎn)生束流，經(jīng)過(guò)高溫裂解區(qū)后形成反應(yīng)活性高的小分子束流，可有效提高材料利用效率，減少材料浪費(fèi)。該裂解源采用專門設(shè)計(jì)的全熱解氮化硼（PBN）坩堝與閥門結(jié)構(gòu)，可有效避免材料腐蝕源爐。PBN閥門可精確控制束流開關(guān)，提供快速穩(wěn)定束流，束流重復(fù)程度良好。另外，閥門易于拆卸，并可通過(guò)傳導(dǎo)區(qū)實(shí)現(xiàn)輕松裝料。獨(dú)特設(shè)計(jì)的擴(kuò)散板結(jié)構(gòu)可控制束流分布狀態(tài)，提高束流均勻性。
| ● 全PBN坩堝與閥門 | ● 束流重復(fù)性高 | ● 適用于大容量坩堝 |
| ● 溫度穩(wěn)定性優(yōu)于±0.2℃ | ● 裂解區(qū)配備獨(dú)立水冷套，水冷可單獨(dú)拆卸 |
| 蒸發(fā)源型號(hào) | VCC300 | VCC2000 | |
| 坩堝容積 (cc) | 300 | 2000 | |
| 安裝法蘭尺寸 | CF63 | CF150 | |
| 總長(zhǎng)度 (mm) | 956 | 962.6 | |
| 真空內(nèi)長(zhǎng)度 (mm) | 342 | 350.2 | |
| 真空內(nèi)外徑 (mm) | 54.3 | 86 | |
坩堝尺寸 (mm) | 直徑 | 36 | 35.9 |
| 高度 | 592.6 | 663.74 | |
| 最高除氣 溫度(℃) | 裂解區(qū) | 1200 | |
| 傳導(dǎo)區(qū) | 1000 | 800 | |
| 蒸發(fā)區(qū) | 800 | ||
常用工作 溫度(℃) | 裂解區(qū) | 1200 | |
| 傳導(dǎo)區(qū) | 600-1000 | 300-700 | |
| 蒸發(fā)區(qū) | 200-600 | ||
| 溫度穩(wěn)定性 | ≤±0.2℃ | ||
| 驅(qū)動(dòng) | PBN材質(zhì) | ||
| 閥門驅(qū)動(dòng)器 | 步進(jìn)電機(jī) | ||
| 束流變化范圍 | 2-3個(gè)數(shù)量級(jí)變化 | ||
| 水冷套 | 蒸發(fā)區(qū)配備標(biāo)準(zhǔn)水冷套，裂解區(qū)水冷套可選配 | ||
| 烘烤溫度 | 250℃ | ||
| 訂購(gòu)編碼 | 3205010125 | 3205010043 | |
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