VAC系列閥式裂解源為As材料蒸發(fā)專門設(shè)計(jì)，固態(tài)As在大容量坩堝內(nèi)加熱后產(chǎn)生As4束流，經(jīng)過高溫裂解區(qū)后形成反應(yīng)活性高的As2小原子團(tuán)簇，可有效提高材料利用效率，減少材料浪費(fèi)。裂解源的閥門可實(shí)現(xiàn)束流瞬態(tài)變化與完全關(guān)閉的精確控制，另外閥門自帶力矩反饋，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)零位校準(zhǔn)。VAC裂解源可在正常工作溫度下待機(jī)閑置，閥門關(guān)閉即可，不會(huì)消耗坩堝內(nèi)的源材料。獨(dú)特設(shè)計(jì)的擴(kuò)散板結(jié)構(gòu)可控制束流分布狀態(tài)，提高束流均勻性。強(qiáng)烈建議使用三個(gè)獨(dú)立電源，以便形成穩(wěn)定的溫度梯度，避免材料在閥門附近沉積堵塞。
| ● 高精度束流控制閥門 | ● 三溫區(qū)獨(dú)立控溫，裂解區(qū)最高溫可達(dá)1400℃ | ● 適用于大容量坩堝 |
| ● 溫度穩(wěn)定性優(yōu)于±0.2℃ | ● 裂解區(qū)配備獨(dú)立水冷套，水冷可單獨(dú)拆卸 |
| 蒸發(fā)源型號(hào) | VAC500 | VAC2000 | VAC7000 | VAC10000 | |
| 坩堝容積 (cc) | 500 | 2000 | 7000 | 10000 | |
| 安裝法蘭尺寸 | CF35 | CF63 | CF100 | CF200 | |
| 真空內(nèi)長(zhǎng)度 (mm) | 285 | 264.5 | 271 | 276.5 | |
| 真空內(nèi)外徑 (mm) | 36.5 | 60.1 | 62 | 108 | |
坩堝尺寸 (mm) | 直徑 | 65 | 115 | 173 | 241 |
| 高度 | 135.7 | 182 | 300 | 203 | |
| 工作溫度(℃) | 蒸發(fā)區(qū)350-400℃ / 裂解區(qū)600-1000℃ | ||||
最高除氣 溫度(℃) | 蒸發(fā)區(qū) | 650 | |||
| 裂解區(qū) | 1400 | 1200 | |||
| 溫度穩(wěn)定性 | ≤±0.2℃ | ||||
| 閥門驅(qū)動(dòng)器 | 步進(jìn)電機(jī) | ||||
| 束流變化范圍 | 2-3個(gè)數(shù)量級(jí)變化 | ||||
| 水冷套 | 蒸發(fā)區(qū)配備標(biāo)準(zhǔn)水冷套，裂解區(qū)水冷套可選配 | ||||
| 烘烤溫度 | 250℃ | ||||
| 訂購(gòu)編碼 | 3205010048 | 3205010100 | 3205010038 | 3205010183 | |
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