費(fèi)勉儀器科技有限公司自主設(shè)計(jì)的BL-1030S 系列真空紫外光源，使用三級(jí)差分腔體，通過(guò)超高真空閥隔離聚焦毛細(xì)管與差分腔，能夠使用Ar，Kr，Xe，N2，H2等多種工作氣體，覆蓋了30 nm-150 nm（41 eV -8.3 eV）的多個(gè)光子能量，光子通量達(dá)到1013 photons/s
| ● 寬光譜：8.43eV ~ 40.8eV（30.3nm-147.6nm） | ● 工作氣體：He，Ne，Ar，Kr，Xe，... | ● 電源：由24V / 200 W電源驅(qū)動(dòng)的緊湊型固態(tài)RF源 |
| ● 兼容UHV，全金屬密封 | ● 使用壽命長(zhǎng)：> 20000小時(shí) |
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