費勉BL-1100S 是一款經(jīng)過特殊設(shè)計的高亮度多氣體混合的真空紫外光源，包含差分腔體，一個單色腔體，一個將聚焦毛細管與差分腔體隔離的閘板閥，能夠使用多種工作氣體（He, Xe），滿足小光斑，氣壓增量小的要求。
| ● 可伸縮調(diào)節(jié)機制 | ● 75mm行程線性驅(qū)動 | ● 角度調(diào)節(jié)機制：傾角范圍：±3° |
| ● 固態(tài)射頻電源，射頻線纜 | ● 強制風(fēng)冷和水冷 | ● 兼容超高真空，全金屬密封 |
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