FERMI BL-1010S 聚焦型真空紫外光源經(jīng)過特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使用三級差分腔體，通過超高真空閥隔離聚焦毛細(xì)管與差分腔，能夠使多種工作氣體（He, Ne, Ar, Kr, Xe...）滿足小光斑，氣壓增量小的要求。
| ● 總通量：> 3 x 10 ^ 13 photons/sec | ● 分辨率：<1meV @ Xe（8.43eV） | ● 電源：由24V / 200 W電源驅(qū)動(dòng)的緊湊型固態(tài)射頻源 | ● 三級差分泵抽 | ● 強(qiáng)制風(fēng)冷和水冷 |
| ● 高效聚焦傳輸毛細(xì)管 | ● 兼容超高真空，全金屬密封 | ● 選配：帶角度調(diào)節(jié)模塊（Port Aligner）線性驅(qū)動(dòng) | ● 移動(dòng)行程：75mm | ● 傾角范圍：±3° |
| 光譜測試 | |
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| Courtesy of Prof.H.Ding's system in IOP, CAS | Courtesy of Prof.D.L.Feng's system in Fudan University |
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