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高精度差分旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)

高精度差分旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)通過(guò)使用交叉滾子軸承，提高了旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的精度和剛度。此外，它還配備了光電編碼器，通過(guò)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)蝸輪蝸桿，再由光電編碼器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)組件在超高真空環(huán)境里的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。它旋轉(zhuǎn)角度為±175°，適用于高精度和高負(fù)載的應(yīng)用場(chǎng)合。

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規(guī)格說(shuō)明

● 適用于10^-11 mbar超高真空環(huán)境	● 一級(jí)差分實(shí)現(xiàn)超高真空性能	● 烘烤溫度：120°C
● 旋轉(zhuǎn)范圍：±175°	● 采用伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)	● 上端安裝法蘭：CF法蘭，螺紋孔
● 下端安裝法蘭：CF法蘭，螺紋孔	● 閉環(huán)控制	● 光柵尺分辨率：≤0.0001°
● 可承受大負(fù)載：>2000kg

品名		高精度差分旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)（HDPRF）
安裝法蘭		CF150
法蘭尺寸	毫米	203
	英寸	8.0
旋轉(zhuǎn)角度		±175°
A (mm)		338
B (mm)		288
C (mm)		104
D (mm)		102
E (mm)		90
驅(qū)動(dòng)		伺服電機(jī)
重量 (kg)		29.2
型號(hào)		HDPRF150AP
XY驅(qū)動(dòng)		3040400008