高精度差分旋轉(zhuǎn)驅(qū)動通過使用交叉滾子軸承，提高了旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的精度和剛度。此外，它還配備了光電編碼器，通過伺服電機驅(qū)動蝸輪蝸桿，再由光電編碼器進行閉環(huán)控制，實現(xiàn)組件在超高真空環(huán)境里的旋轉(zhuǎn)運動。它旋轉(zhuǎn)角度為±175°，適用于高精度和高負載的應用場合。
| ● 適用于10-11 mbar超高真空環(huán)境 | ● 一級差分實現(xiàn)超高真空性能 | ● 烘烤溫度：120°C |
| ● 旋轉(zhuǎn)范圍：±175° | ● 采用伺服馬達驅(qū)動 | ● 上端安裝法蘭：CF法蘭，螺紋孔 |
| ● 下端安裝法蘭：CF法蘭，螺紋孔 | ● 閉環(huán)控制 | ● 光柵尺分辨率：≤0.0001° |
| ● 可承受大負載：>2000kg |
| 品名 | 高精度差分旋轉(zhuǎn)驅(qū)動（HDPRF） | |
| 安裝法蘭 | CF150 | |
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 203 |
| 英寸 | 8.0 | |
| 旋轉(zhuǎn)角度 | ±175° | |
| A (mm) | 338 | |
| B (mm) | 288 | |
| C (mm) | 104 | |
| D (mm) | 102 | |
| E (mm) | 90 | |
| 驅(qū)動 | 伺服電機 | |
| 重量 (kg) | 29.2 | |
| 型號 | HDPRF150AP | |
| XY驅(qū)動 | 3040400008 | |
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