波紋管旋轉(zhuǎn)驅(qū)動采用焊接不銹鋼波紋管作為密封，通過特定角度的偏軸擺動來傳遞旋轉(zhuǎn)運動，操作平穩(wěn)、安全可靠，無滯后影響。
| ● 波紋管密封 | ● 激光蝕刻刻度 | ● 用于10-11 mbar超高真空環(huán)境 |
| ● 旋轉(zhuǎn)范圍：360°（可連續(xù)旋轉(zhuǎn)） | ● 最高烘烤溫度：150°C | ● 安裝法蘭：CF法蘭，通孔 |
| ● 焊接波紋管材質(zhì)：SS316L | ● 可接受定制 |
| 品名 | 磁耦合旋轉(zhuǎn)驅(qū)動（MR） | |||
| 安裝法蘭 | CF16 | CF35 | ||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 34 | 70 | |
| 英寸 | 1.33 | 2.75 | ||
| 旋轉(zhuǎn)角度 | 360° | 360° | ||
| 驅(qū)動 | 手動 | 步進(jìn)電機 | 手動 | |
| 分辨率 | 5° | 0.01° | 1° | |
| 重量 (kg) | 0.5 | 1.1 | 1.3 | |
| 型號 | BR16M | BR16A | BR35M | |
| XY驅(qū)動 | 3040200001 | 3040200002 | 3040200003 | |
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