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磁耦合旋轉(zhuǎn)驅(qū)動（磁聯(lián)軸器/旋轉(zhuǎn)饋通）

磁耦合旋轉(zhuǎn)驅(qū)動利用強(qiáng)磁鐵之間的耦合將旋轉(zhuǎn)力導(dǎo)入真空系統(tǒng)中，該驅(qū)動無需使用傳統(tǒng)的動態(tài)密封結(jié)構(gòu)，即能實(shí)現(xiàn)超高真空下的旋轉(zhuǎn)功能。對于真空系統(tǒng)中需要旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的設(shè)備而言，磁耦合旋轉(zhuǎn)驅(qū)動提供了安全可靠且完全密封的超高真空性能。

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規(guī)格說明

● 驅(qū)動方式：磁耦合	● 激光蝕刻刻度，以5°遞增	● 用于10^-11 mbar超高真空環(huán)境
● 安裝法蘭：CF法蘭，通孔	● 最高烘烤溫度：150°C	● 材質(zhì)：超高真空兼容材料
● 可接受定制

品名		磁耦合旋轉(zhuǎn)驅(qū)動（MR）
安裝法蘭		CF16				CF35
法蘭尺寸	毫米	34				70
	英寸	1.33				2.75
旋轉(zhuǎn)角度		90°		360°		360°
驅(qū)動		手動	氣動	手動	步進(jìn)電機(jī)	步進(jìn)電機(jī)
扭矩		0.3N·m				5N·m
分辨率		5°	/	5°	0.01°	0.01°
重量 (kg)		0.4	0.6	0.4	1.0	2.0
型號		MR16R90M	MR16R90P	MR16R360M	MR16R360A	MR35R360A
XY驅(qū)動		3040000001	3040000003	3040000004	3040000005	3040000021