技術(shù)支持
TECHNICAL SUPPORT
第一步:準(zhǔn)備以下材料以及工具
① CF35銅墊圈,1個(gè)
② 不銹鋼內(nèi)六角螺絲(螺絲長(zhǎng)度視安裝法蘭而定),6個(gè)
③ ?6mm平墊,6個(gè)
④ CF35板狀螺帽,2個(gè)(視安裝法蘭而定)
⑤ 蒸發(fā)源,1個(gè)
⑥ 蒸發(fā)源支架,1個(gè)
工具:
① 無(wú)塵手套
② 無(wú)水酒精
③ 超凈布
④ 5mm內(nèi)六角扳手
⑤ 無(wú)塵服
第二步:安全檢查,確保腔體已經(jīng)停止抽真空,并采用高純氮恢復(fù)到大氣壓,確認(rèn)腔體內(nèi)的材料無(wú)毒無(wú)害;
第三步:穿戴無(wú)塵服、無(wú)塵手套,先把磁耦合旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)上的鎖緊螺絲擰松,再將磁耦合旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)至0度并把鎖緊螺絲鎖緊(即擋板處于關(guān)閉位置),確保不會(huì)與腔體內(nèi)壁發(fā)生干涉;
第四步:使用超凈布蘸取酒精擦拭蒸發(fā)源刀口和銅墊圈并目視檢查無(wú)瑕疵,將銅墊圈放在蒸發(fā)源法蘭刀口或者安裝法蘭刀口上(面向上者);
第五步:使用超凈布蘸取酒精擦拭法蘭刀口,并小心地將蒸發(fā)源插入腔體,確保蒸發(fā)源真空外部件不與其他物體干涉;
*在第四步和第五步中,必須檢查密封刀口及銅墊圈是否完好無(wú)劃傷,如果有異常則必須停止安裝。
第六步:檢查水冷的方向。必要時(shí),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)源以確保出水口處于較高位置。(即正立安裝,低進(jìn)高出;倒立安裝,高進(jìn)低出);
第七步:輕微的來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)蒸發(fā)源法蘭,確保銅墊圈與法蘭吻合,并使上下兩個(gè)法蘭通孔對(duì)位;
第八步:將帶有墊片的不銹鋼內(nèi)六角螺絲插入通孔內(nèi),同時(shí)另外一側(cè)用板狀螺帽(或者M(jìn)6螺母)固定,螺絲擰入板狀螺帽中(或者M(jìn)6螺母),交叉擰緊螺絲;用合適的松緊程度將每個(gè)螺絲順時(shí)針每次擰1/4或者1/2圈;
第九步:用萬(wàn)用表測(cè)量加熱絲電阻值和熱電偶是否正常,可對(duì)比原廠的出廠報(bào)告;
第十步:用5mm內(nèi)六角扳手順時(shí)針均勻擰緊所有螺絲;
第十一步:接水路并加壓確保無(wú)泄漏;
第十二步:接電源線和熱偶線。
腔體上拆蒸發(fā)源步驟
第四步:檢查磁耦合旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)刻度,確認(rèn)在0度并把鎖緊螺絲鎖緊(即擋板處于關(guān)閉位置),確保不會(huì)與腔體內(nèi)壁發(fā)生干涉;
第五步:用內(nèi)六角扳手均勻的預(yù)松開(kāi)法蘭通孔內(nèi)螺絲;
第六步:一只手托住蒸發(fā)源,另外一只手拆卸螺絲,直至螺絲全部拆卸完畢;
第七步:小心取出蒸發(fā)源,避免與腔體的內(nèi)壁及法蘭刀口碰撞,將蒸發(fā)源正立于架子上;
第八步:使用CF35盲板封堵安裝法蘭。(如果短時(shí)間內(nèi)將蒸發(fā)源裝完料后裝回腔體,那么只需用潔凈的鋁箔紙封堵安裝法蘭刀口)
*如果蒸發(fā)源和擋板是分離安裝的,建議檢查擋板。隨著系統(tǒng)使用擋板上會(huì)積累原材料,建議定期清理污染系統(tǒng)或者蒸發(fā)源。