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標(biāo)準(zhǔn)蒸發(fā)源拆裝操作

時(shí)間:2020.07.31來(lái)源 :點(diǎn)擊次數(shù):2933次
蒸發(fā)源的安裝環(huán)境分為兩種情況,一種是蒸發(fā)源裝在腔體內(nèi),另一種是蒸發(fā)源裝在外置水冷套內(nèi)。在自帶擋板的腔體內(nèi)與外置水冷套內(nèi)安裝需要把蒸發(fā)源擋板拆除,如果腔體內(nèi)不帶擋板則操作步驟如下(以費(fèi)勉儀器標(biāo)準(zhǔn)中溫蒸發(fā)源安裝操作為例):


1
蒸發(fā)源裝腔操作

第一步:準(zhǔn)備以下材料以及工具



CF35銅墊圈,1個(gè)

不銹鋼內(nèi)六角螺絲(螺絲長(zhǎng)度視安裝法蘭而定),6個(gè)

?6mm平墊,6個(gè)

CF35板狀螺帽,2個(gè)(視安裝法蘭而定)

蒸發(fā)源,1個(gè)

蒸發(fā)源支架,1個(gè)

工具:

無(wú)塵手套

無(wú)水酒精

超凈布

5mm內(nèi)六角扳手

無(wú)塵服

第二步:安全檢查,確保腔體已經(jīng)停止抽真空,并采用高純氮恢復(fù)到大氣壓,確認(rèn)腔體內(nèi)的材料無(wú)毒無(wú)害;

第三步:穿戴無(wú)塵服、無(wú)塵手套,先把磁耦合旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)上的鎖緊螺絲擰松,再將磁耦合旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)至0度并把鎖緊螺絲鎖緊(即擋板處于關(guān)閉位置),確保不會(huì)與腔體內(nèi)壁發(fā)生干涉;



第四步:使用超凈布蘸取酒精擦拭蒸發(fā)源刀口和銅墊圈并目視檢查無(wú)瑕疵,將銅墊圈放在蒸發(fā)源法蘭刀口或者安裝法蘭刀口上(面向上者);



第五步:使用超凈布蘸取酒精擦拭法蘭刀口,并小心地將蒸發(fā)源插入腔體,確保蒸發(fā)源真空外部件不與其他物體干涉;



*在第四步和第五步中,必須檢查密封刀口及銅墊圈是否完好無(wú)劃傷,如果有異常則必須停止安裝。

第六步:檢查水冷的方向。必要時(shí),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)源以確保出水口處于較高位置。(即正立安裝,低進(jìn)高出;倒立安裝,高進(jìn)低出);



第七步:輕微的來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)蒸發(fā)源法蘭,確保銅墊圈與法蘭吻合,并使上下兩個(gè)法蘭通孔對(duì)位;



第八步:將帶有墊片的不銹鋼內(nèi)六角螺絲插入通孔內(nèi),同時(shí)另外一側(cè)用板狀螺帽(或者M(jìn)6螺母)固定,螺絲擰入板狀螺帽中(或者M(jìn)6螺母),交叉擰緊螺絲;用合適的松緊程度將每個(gè)螺絲順時(shí)針每次擰1/4或者1/2圈;



第九步:用萬(wàn)用表測(cè)量加熱絲電阻值和熱電偶是否正常,可對(duì)比原廠的出廠報(bào)告;



第十步:用5mm內(nèi)六角扳手順時(shí)針均勻擰緊所有螺絲;



第十一步:接水路并加壓確保無(wú)泄漏;



第十二步:接電源線和熱偶線。




2

腔體上拆蒸發(fā)源步驟



第一步:準(zhǔn)備以下材料和工具





CF35盲板,1個(gè)

銅墊圈,1個(gè)

蒸發(fā)源支架,1個(gè)

工具:

無(wú)塵手套

無(wú)水酒精

超凈布

無(wú)塵服

5mm內(nèi)六角扳手

第二步:安全檢查,確保腔體已經(jīng)停止抽真空,并采用高純氮恢復(fù)到大氣壓,確認(rèn)腔體內(nèi)的材料無(wú)毒無(wú)害;

第三步:穿戴無(wú)塵服、無(wú)塵手套,腔體破真空后,移除電饋通電纜(電源線和熱偶線),關(guān)閉水冷,移除水冷管,用壓縮空氣吹干凈殘余冷卻水避免污染工作場(chǎng)地;



第四步:檢查磁耦合旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)刻度,確認(rèn)在0度并把鎖緊螺絲鎖緊(即擋板處于關(guān)閉位置),確保不會(huì)與腔體內(nèi)壁發(fā)生干涉;

第五步:用內(nèi)六角扳手均勻的預(yù)松開(kāi)法蘭通孔內(nèi)螺絲;



第六步:一只手托住蒸發(fā)源,另外一只手拆卸螺絲,直至螺絲全部拆卸完畢;



第七步:小心取出蒸發(fā)源,避免與腔體的內(nèi)壁及法蘭刀口碰撞,將蒸發(fā)源正立于架子上;



第八步:使用CF35盲板封堵安裝法蘭。(如果短時(shí)間內(nèi)將蒸發(fā)源裝完料后裝回腔體,那么只需用潔凈的鋁箔紙封堵安裝法蘭刀口)



*如果蒸發(fā)源和擋板是分離安裝的,建議檢查擋板。隨著系統(tǒng)使用擋板上會(huì)積累原材料,建議定期清理污染系統(tǒng)或者蒸發(fā)源。


標(biāo)簽: 蒸發(fā)源
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