標(biāo)準(zhǔn)蒸發(fā)源拆裝操作

時(shí)間：2020.07.31來(lái)源：點(diǎn)擊次數(shù)：2933次

蒸發(fā)源的安裝環(huán)境分為兩種情況，一種是蒸發(fā)源裝在腔體內(nèi)，另一種是蒸發(fā)源裝在外置水冷套內(nèi)。在自帶擋板的腔體內(nèi)與外置水冷套內(nèi)安裝需要把蒸發(fā)源擋板拆除，如果腔體內(nèi)不帶擋板則操作步驟如下（以費(fèi)勉儀器標(biāo)準(zhǔn)中溫蒸發(fā)源安裝操作為例）：

蒸發(fā)源裝腔操作

第一步：準(zhǔn)備以下材料以及工具

① CF35銅墊圈,1個(gè)

② 不銹鋼內(nèi)六角螺絲（螺絲長(zhǎng)度視安裝法蘭而定），6個(gè)

③ ?6mm平墊,6個(gè)

④ CF35板狀螺帽,2個(gè)（視安裝法蘭而定）

⑤ 蒸發(fā)源，1個(gè)

⑥ 蒸發(fā)源支架，1個(gè)

工具：

① 無(wú)塵手套

② 無(wú)水酒精

③ 超凈布

④ 5mm內(nèi)六角扳手

⑤ 無(wú)塵服

第二步：安全檢查，確保腔體已經(jīng)停止抽真空，并采用高純氮恢復(fù)到大氣壓，確認(rèn)腔體內(nèi)的材料無(wú)毒無(wú)害；

第三步：穿戴無(wú)塵服、無(wú)塵手套，先把磁耦合旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)上的鎖緊螺絲擰松，再將磁耦合旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)至0度并把鎖緊螺絲鎖緊（即擋板處于關(guān)閉位置），確保不會(huì)與腔體內(nèi)壁發(fā)生干涉；

第四步：使用超凈布蘸取酒精擦拭蒸發(fā)源刀口和銅墊圈并目視檢查無(wú)瑕疵，將銅墊圈放在蒸發(fā)源法蘭刀口或者安裝法蘭刀口上（面向上者）；

第五步：使用超凈布蘸取酒精擦拭法蘭刀口，并小心地將蒸發(fā)源插入腔體，確保蒸發(fā)源真空外部件不與其他物體干涉；

*在第四步和第五步中，必須檢查密封刀口及銅墊圈是否完好無(wú)劃傷，如果有異常則必須停止安裝。

第六步：檢查水冷的方向。必要時(shí)，旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)源以確保出水口處于較高位置。（即正立安裝，低進(jìn)高出；倒立安裝，高進(jìn)低出）；

第七步：輕微的來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)蒸發(fā)源法蘭，確保銅墊圈與法蘭吻合，并使上下兩個(gè)法蘭通孔對(duì)位；

第八步：將帶有墊片的不銹鋼內(nèi)六角螺絲插入通孔內(nèi)，同時(shí)另外一側(cè)用板狀螺帽(或者M(jìn)6螺母)固定，螺絲擰入板狀螺帽中(或者M(jìn)6螺母)，交叉擰緊螺絲；用合適的松緊程度將每個(gè)螺絲順時(shí)針每次擰1/4或者1/2圈；

第九步：用萬(wàn)用表測(cè)量加熱絲電阻值和熱電偶是否正常，可對(duì)比原廠的出廠報(bào)告；

第十步：用5mm內(nèi)六角扳手順時(shí)針均勻擰緊所有螺絲；

第十一步：接水路并加壓確保無(wú)泄漏；

第十二步：接電源線和熱偶線。

腔體上拆蒸發(fā)源步驟

第一步：準(zhǔn)備以下材料和工具

① CF35盲板，1個(gè)

② 銅墊圈，1個(gè)

③ 蒸發(fā)源支架，1個(gè)

工具：

① 無(wú)塵手套

② 無(wú)水酒精

③ 超凈布

④ 無(wú)塵服

⑤ 5mm內(nèi)六角扳手

第二步：安全檢查，確保腔體已經(jīng)停止抽真空，并采用高純氮恢復(fù)到大氣壓，確認(rèn)腔體內(nèi)的材料無(wú)毒無(wú)害；

第三步：穿戴無(wú)塵服、無(wú)塵手套，腔體破真空后，移除電饋通電纜（電源線和熱偶線），關(guān)閉水冷，移除水冷管，用壓縮空氣吹干凈殘余冷卻水避免污染工作場(chǎng)地；