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CF法蘭緊固安裝操作

時(shí)間:2020.07.31來(lái)源 :點(diǎn)擊次數(shù):12293次

CF法蘭是超高真空行業(yè)中比較常見(jiàn)的一類(lèi)法蘭標(biāo)準(zhǔn),經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展,雖然各個(gè)地區(qū)的命名方式不同(例如NWCF,ICF等等),但是在全世界已經(jīng)形成了一個(gè)行業(yè)規(guī)范。他的優(yōu)勢(shì)在于全金屬密封,可以耐高溫,耐腐蝕,在合適的操作情況下可以達(dá)到極高的真空度(10-12 mbar),但是缺點(diǎn)是相對(duì)ISO和KF標(biāo)準(zhǔn)安裝相對(duì)較復(fù)雜,如果安裝不到位會(huì)極大地影響真空度。在本期公眾號(hào)中,咱們就來(lái)介紹下CF法蘭緊固安裝操作步驟及注意事項(xiàng)。



?1

CF法蘭


CF法蘭的英文名是Conflat Flange。它是一種用于超高真空中的法蘭連接,是一種金屬靜密封,可以承受高溫烘烤。

CF法蘭上可開(kāi)通孔或螺紋孔。開(kāi)有通孔的法蘭要通過(guò)螺栓和螺母固定,開(kāi)有螺紋孔的法蘭可直接使用螺栓固定。

常用規(guī)格類(lèi)型:CF16, 35, 63, 100, 150, 200,250, 300, 350

CF法蘭密封材料通常為無(wú)氧銅墊圈,根據(jù)不同的細(xì)分需求,無(wú)氧銅墊圈可以做加厚、鍍金、鍍銀、高溫退火等處理。

CF法蘭材料通常為3系列不銹鋼(304~316LN)不銹鋼等,CF法蘭的常見(jiàn)形式具體見(jiàn)下圖所示:




2

CF法蘭安裝方式


以CF35開(kāi)通孔的法蘭緊固安裝操作為例,操作方式及步驟如下:



第一步:準(zhǔn)備以下材料以及工具:

材料:

CF35板狀螺帽,2個(gè)(無(wú)板狀螺帽的可用M6螺母替代)

304不銹鋼內(nèi)六角螺栓M6*35,6個(gè)(也可選擇外六角螺絲)

?6mm平墊,6個(gè)

CF35銅墊圈,1個(gè)

CF35盲板,1個(gè)

工具:

無(wú)塵手套

酒精

超凈布

5mm內(nèi)六角扳手(如選用外六角螺絲則需配置10號(hào)扳手)

第二步:戴上無(wú)塵手套,使用超凈布蘸取酒精擦拭銅墊圈及CF35盲板,擦拭完畢后將銅墊圈小心放在盲板刀口上。



第三步:使用超凈布蘸取酒精擦拭腔體法蘭刀口,將第二步中擦拭完畢的盲板(刀口帶有銅墊圈)蓋上腔體法蘭刀口,使上下法蘭檢漏口對(duì)齊。



*在第二步和第三步中,必須檢查密封刀口及銅墊圈是否完好無(wú)劃傷,如果有異常則必須停止安裝。銅墊圈或者法蘭的瑕疵不僅僅會(huì)造成真空不達(dá)標(biāo),甚至可能損壞與之配套的法蘭。

第四步:將帶有墊片的304不銹鋼內(nèi)六角螺栓M6*35插入通孔內(nèi),同時(shí)另外一側(cè)用板狀螺帽(或者M(jìn)6螺母)固定,螺栓擰入板狀螺帽中(或者M(jìn)6螺母),交叉擰緊螺栓;用合適的松緊程度將每個(gè)螺栓順時(shí)針每次擰1/4或者1/2圈。



第五步:用5mm內(nèi)六角扳手順時(shí)針均勻擰緊所有螺栓。



如果有可能,我們非常建議采用力矩扳手來(lái)完成CF法蘭的安裝工作,根據(jù)一些廠商的建議,擰緊力矩可以參考如下 (www.lesker.com)


法蘭外徑O.D.
螺栓扭矩(ft-lbs.)
inch mm
1-1/3 34 7
2-3/4 70 12
4-1/2 114 15
6 152 15
8 203 15
10 254 15



3
安裝時(shí)注意事項(xiàng)



1. 真空系統(tǒng)搭建時(shí)必須穿潔凈服,戴潔凈帽、戴手套,因?yàn)檩p微的指紋或者其他污漬都可以極大地影響真空度;

2. 安裝前仔細(xì)檢查盲板、法蘭刀口和銅墊圈表面的光潔度或粗糙度,不允許有碰傷、劃傷、斑痕及其他影響真空密封性能的缺陷,確保刀口和銅墊圈沒(méi)有瑕疵后再進(jìn)行安裝;

3.? 根據(jù)不同法蘭尺寸選用不同的螺絲類(lèi)型,選用的螺絲長(zhǎng)度應(yīng)露出螺母1~2mm為宜;

4.? 螺栓、螺母及墊圈與法蘭裝配時(shí)一般應(yīng)在螺栓、螺母之間加二硫化鉬潤(rùn)滑劑;

5.? 擰緊法蘭螺絲時(shí)必須用力均勻。對(duì)于小法蘭,例如CF16-63大小的法蘭,可以按照順序逐步擰緊螺絲。但是對(duì)于較大的法蘭,例如CF150及以上的法蘭,則需采取對(duì)角花式擰緊的方式,避免單側(cè)受力不均勻,影響密封效果;

6. 對(duì)于有陶瓷或者玻璃密封的部件,例如Feedthrough或者視窗,建議采用退火銅墊圈,可以減少密封件內(nèi)部的壓應(yīng)力,降低損壞幾率;

如果您有購(gòu)買(mǎi)銅墊圈和板狀螺帽的需求,請(qǐng)發(fā)送郵件至info@fermi.com咨詢。

以下是費(fèi)勉儀器通用的CF法蘭尺寸對(duì)應(yīng)的配套螺栓/螺桿長(zhǎng)度表(僅供參考)


標(biāo)簽: 法蘭
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