技術(shù)支持
TECHNICAL SUPPORT
CF法蘭是超高真空行業(yè)中比較常見(jiàn)的一類(lèi)法蘭標(biāo)準(zhǔn),經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展,雖然各個(gè)地區(qū)的命名方式不同(例如NWCF,ICF等等),但是在全世界已經(jīng)形成了一個(gè)行業(yè)規(guī)范。他的優(yōu)勢(shì)在于全金屬密封,可以耐高溫,耐腐蝕,在合適的操作情況下可以達(dá)到極高的真空度(10-12 mbar),但是缺點(diǎn)是相對(duì)ISO和KF標(biāo)準(zhǔn)安裝相對(duì)較復(fù)雜,如果安裝不到位會(huì)極大地影響真空度。在本期公眾號(hào)中,咱們就來(lái)介紹下CF法蘭緊固安裝操作步驟及注意事項(xiàng)。
CF法蘭
CF法蘭安裝方式
*在第二步和第三步中,必須檢查密封刀口及銅墊圈是否完好無(wú)劃傷,如果有異常則必須停止安裝。銅墊圈或者法蘭的瑕疵不僅僅會(huì)造成真空不達(dá)標(biāo),甚至可能損壞與之配套的法蘭。
第四步:將帶有墊片的304不銹鋼內(nèi)六角螺栓M6*35插入通孔內(nèi),同時(shí)另外一側(cè)用板狀螺帽(或者M(jìn)6螺母)固定,螺栓擰入板狀螺帽中(或者M(jìn)6螺母),交叉擰緊螺栓;用合適的松緊程度將每個(gè)螺栓順時(shí)針每次擰1/4或者1/2圈。
如果有可能,我們非常建議采用力矩扳手來(lái)完成CF法蘭的安裝工作,根據(jù)一些廠商的建議,擰緊力矩可以參考如下 (www.lesker.com)
法蘭外徑O.D. |
螺栓扭矩(ft-lbs.) |
|
inch | mm | |
1-1/3 | 34 | 7 |
2-3/4 | 70 | 12 |
4-1/2 | 114 | 15 |
6 | 152 | 15 |
8 | 203 | 15 |
10 | 254 | 15 |
1. 真空系統(tǒng)搭建時(shí)必須穿潔凈服,戴潔凈帽、戴手套,因?yàn)檩p微的指紋或者其他污漬都可以極大地影響真空度;
2. 安裝前仔細(xì)檢查盲板、法蘭刀口和銅墊圈表面的光潔度或粗糙度,不允許有碰傷、劃傷、斑痕及其他影響真空密封性能的缺陷,確保刀口和銅墊圈沒(méi)有瑕疵后再進(jìn)行安裝;
3.? 根據(jù)不同法蘭尺寸選用不同的螺絲類(lèi)型,選用的螺絲長(zhǎng)度應(yīng)露出螺母1~2mm為宜;
4.? 螺栓、螺母及墊圈與法蘭裝配時(shí)一般應(yīng)在螺栓、螺母之間加二硫化鉬潤(rùn)滑劑;
5.? 擰緊法蘭螺絲時(shí)必須用力均勻。對(duì)于小法蘭,例如CF16-63大小的法蘭,可以按照順序逐步擰緊螺絲。但是對(duì)于較大的法蘭,例如CF150及以上的法蘭,則需采取對(duì)角花式擰緊的方式,避免單側(cè)受力不均勻,影響密封效果;
6. 對(duì)于有陶瓷或者玻璃密封的部件,例如Feedthrough或者視窗,建議采用退火銅墊圈,可以減少密封件內(nèi)部的壓應(yīng)力,降低損壞幾率;
如果您有購(gòu)買(mǎi)銅墊圈和板狀螺帽的需求,請(qǐng)發(fā)送郵件至info@fermi.com咨詢。
以下是費(fèi)勉儀器通用的CF法蘭尺寸對(duì)應(yīng)的配套螺栓/螺桿長(zhǎng)度表(僅供參考)