高精度全尺寸三維平移臺可在超高真空環(huán)境下實(shí)現(xiàn)設(shè)備在X、Y、Z三個(gè)方向上的平穩(wěn)運(yùn)動，具有極高的運(yùn)動精度。該平臺采用直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)和高精度滾珠絲桿，結(jié)構(gòu)穩(wěn)固可靠。所有控制方式為伺服電機(jī)+光柵尺，能夠?qū)崿F(xiàn)亞微米級精度和全閉環(huán)控制，高精度，高負(fù)載，運(yùn)動法蘭角度可調(diào)（±3°）。
| ● 壓力范圍：1bar~10-11mbar | ● 局部波紋管部分可烘烤150℃ | ● 焊接波紋管材質(zhì)：SS316L |
| ● 通徑：102mm | ● 上端安裝法蘭：CF100法蘭，通孔 | ● 下端安裝法蘭：CF150法蘭，通孔 |
| ● XYZ軸分辨率：0.2μm | ● 伺服電機(jī)驅(qū)動 | ● 可接受定制 |
| ● 光柵尺閉環(huán)反饋 |
| 品名 | 高精度全尺寸三維平移臺（HFXYZ） | ||
| 上端移動法蘭 | CF100 | ||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 152 | |
| 英寸 | 6.0 | ||
| 下端安裝法蘭 | CF150 | ||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 203 | |
| 英寸 | 8.0 | ||
| XY行程 (mm) | ±12.5 | ||
| Z行程 (mm) | 300 | 550 | |
| A拉伸 (mm) | 710 | 960 | |
| B壓縮 (mm) | 410 | 410 | |
| C (mm) | 815 | 1065 | |
| Z驅(qū)動 | 伺服電機(jī) | ||
| XY驅(qū)動 | 伺服電機(jī) | ||
| 型號 | HFXYZ150Z300M-1055 | HFXYZ150Z550M-1055 | |
| 訂購編碼 | 3042320009 | 3042320019 | |
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