中型三維平移臺能夠?qū)崿F(xiàn)組件的真空內(nèi)部分在XYZ軸方向的運(yùn)動(dòng)。X/Y方向采用交叉滾子運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，穩(wěn)固牢靠，驅(qū)動(dòng)方式可選步進(jìn)電機(jī)或微分頭。Z方向采用光軸和滾珠絲桿組合的運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，并具有自鎖功能，驅(qū)動(dòng)方式為步進(jìn)電機(jī)+手輪。
| ● 壓力范圍：1bar~10-11mbar | ● 烘烤溫度：150℃ (移除電機(jī)及其組件) | ● 焊接波紋管材質(zhì)：SS316L |
| ● 通徑：65mm | ● 上端安裝法蘭：CF63法蘭，通孔 | ● 下端安裝法蘭：CF100法蘭，螺紋孔 |
| ● X/Y驅(qū)動(dòng)：步進(jìn)電機(jī)(分辨率≤1μm, 精度≤10μm)或微分頭(分辨率10μm) | ● Z驅(qū)動(dòng)：步進(jìn)電機(jī)(分辨率≤1μm，精度≤10μm)+手輪 | ● 可接受定制 |
| 品名 | 中型三維平移臺（MXYZ） | ||||
| 上端移動(dòng)法蘭 | CF63 | ||||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 114 | |||
| 英寸 | 4.5 | ||||
| 下端安裝法蘭 | CF100 | ||||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 152 | |||
| 英寸 | 6.0 | ||||
| XY行程 (mm) | ±7.5 | ||||
| Z行程 (mm) | 100 | 200 | |||
| A拉伸 (mm) | 399 | 499 | |||
| B壓縮 (mm) | 299 | 299 | |||
| C (mm) | 463 | 563 | |||
| Z驅(qū)動(dòng) | 步進(jìn)電機(jī)+手輪 | 步進(jìn)電機(jī)+手輪 | |||
| XY驅(qū)動(dòng) | 微分頭 | 步進(jìn)電機(jī) | 微分頭 | 步進(jìn)電機(jī) | |
| 型號 | MXYZ100Z100S-0108 | MXYZ100Z100S-0128 | MXYZ100Z200S-0108 | MXYZ100Z200S-0128 | |
| 訂購編碼 | 3042200008 | 3042200012 | 3042200032 | 3042200036 | |
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