緊湊型三維平移臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)組件的真空內(nèi)部分在XYZ軸方向的運(yùn)動(dòng)。XY方向采用微分頭驅(qū)動(dòng)，Z方向采用手輪驅(qū)動(dòng)，并具有自鎖功能。結(jié)構(gòu)穩(wěn)固，精度高，尺寸小巧。
| ● 壓力范圍：1bar~10-11mbar | ● 驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng) | ● 最高烘烤溫度：150℃ |
| ● 焊接波紋管材質(zhì)：SS316L | ● 微分頭分辨率：10μm | ● Z軸刻度以1mm遞增 |
| ● 上端安裝法蘭：CF35，螺紋孔 | ● 下端安裝法蘭：CF63，通孔 | ● 可接受定制 |
| 品名 | 緊湊型三維平移臺(tái)（SXYZ） | |||
| 上端移動(dòng)法蘭 | CF35 | |||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 70 | ||
| 英寸 | 2.75 | |||
| 下端安裝法蘭 | CF63 | |||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 114 | ||
| 英寸 | 4.5 | |||
| XYZ驅(qū)動(dòng) | 手動(dòng) | |||
| XY行程 (mm) | ±12.5 | |||
| Z行程 (mm) | 75 | 100 | 150 | |
| A拉伸 (mm) | 240 | 265 | 315 | |
| B壓縮 (mm) | 165 | 165 | 165 | |
| C (mm) | 255 | 280 | 330 | |
| 重量(kg) | 10.2 | 10.5 | 10.9 | |
| 型號(hào) | SXYZ63Z75 | SXYZ63Z100 | SXYZ63Z150 | |
| 訂購編碼 | 3042100001 | 3042100002 | 3042100003 | |
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