RPTE-VT立式遠(yuǎn)程低溫等離子體清洗機(jī)采用自主研發(fā)的新型遠(yuǎn)程低溫等離子體激勵(lì)技術(shù)，采用一體集成式設(shè)計(jì)，內(nèi)部含有等離子體處理腔，等離子體發(fā)生裝置、真空泵、PLC控制裝置等?？梢詫?shí)現(xiàn)物品表面清洗、表面改性、表面活化等功能。
| ● 激勵(lì)效率高，整體溫度低 | ● 實(shí)現(xiàn)納米級別清潔，對樣品和器件基本無損傷 | ● 等離子體穩(wěn)定、分布均勻 |
| ● 集成度高，自動(dòng)化控制，簡單易上手 | ● 兼容空氣、氧氣等 |
| 外形尺寸 | 685mm(L)×690mm(W)×2000mm(H） |
| 處理容積 | 27L |
| 工作氣壓 | 10-2 – 10-1 mbar |
系統(tǒng)控制 | PLC+觸摸屏控制 |
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