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遠(yuǎn)程等離子源

本產(chǎn)品采用了新型遠(yuǎn)程低溫等離子激勵(lì)技術(shù),分離了等離子的發(fā)生室和處理室,具有激勵(lì)效率高、整體溫度低的特點(diǎn)。

規(guī)格說明
  兼容氣體空氣與氧氣  工作氣壓:5Pa-20Pa(推薦)  安裝法蘭:DN40CF
  散熱方式:水冷  使用頻率:40kHz


實(shí)物圖

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標(biāo)簽: 超高真空MBE
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