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科技創(chuàng)新是企業(yè)發(fā)展的源動力,費(fèi)勉一向注重自主知識產(chǎn)權(quán)的原始積累,通過技術(shù)研發(fā)和創(chuàng)新不斷推動產(chǎn)品升級,提升公司核心創(chuàng)造力。
截止2025年5月底,我司已獲
授權(quán)專利215個
此外,費(fèi)勉儀器已獲
31個發(fā)明
專利
,另有大量發(fā)明專利、實用新型專利在授權(quán)或申請中
用于超高真空腔體的等離子體清洗拋光裝置
專利號:ZL2017 1 1236830.4
適用于超高真空環(huán)境的緊湊型無液氮1K低溫制冷裝置
專利號:ZL 2016 1 1154635.2
一種磁力傳動機(jī)構(gòu)及應(yīng)用該傳動機(jī)構(gòu)的真空管道系統(tǒng)
專利號:ZL 2016 1 1011730.7
一種集成冷卻裝置的高亮度紫外光源
專利號:ZL 2016 1 0791833.3
一種真空紫外光源裝置
專利號:ZL 2016 1 0261838.5
真空原位反應(yīng)裝置
專利號:ZL 2015 1 0761877.7
一種機(jī)械傳遞臂及真空傳遞腔
專利號:ZL 2015 1 0661875.0
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