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軟件支持 Dec.18 2019

多路溫控程序

通過RS485通訊控制，需配備多路RS485通信盒。
版本：1.1.3

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軟件支持 Dec.18 2019

串口服務(wù)器程序

如配備多路RS485通信盒，需要安裝此程序，將多路并行RS485通訊轉(zhuǎn)換為以太網(wǎng)通訊。

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軟件支持 Dec.18 2019

混氣室多路Brooks GF100質(zhì)量流量計(jì)控制程序

配備多路RS485通信盒通過RS485通訊控制。
版本：1.0

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軟件支持 Dec.18 2019

RHEED CCD采集程序

用于RHEED pattern采集，需使用配套相機(jī)。
版本：1.1

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