費勉儀器開發(fā)的超高真空原位輸運測量系統(tǒng)集成了分子束外延（MBE）、原位電極蒸鍍、原位微區(qū)探針(M4PP)輸運測量和原位互感磁化率測量等功能。具備低溫（4K）、強磁場（9T）和超高真空（E-10mbar）可實現(xiàn)薄膜制備以及原位物性測量。探針托、互感托均基于標準的旗形樣品托設計，可以實現(xiàn)與其他表征或測試設備互聯(lián)。微區(qū)四探針（M4PP）輸運測量和原位互感；兩種實驗手段結合，可以同事研究超導體的零電阻和完全抗磁性兩大特征。
| ● 原位互感模塊，可以無損探測抗磁信號，研究超導薄膜的超導轉變 | ● 微區(qū)四探針模塊，可以實現(xiàn)薄膜樣品的原位電輸運測量 | ● 原位電極蒸鍍模塊，可以在真空腔內味薄膜樣品制作輸運測量中所必須的探測電極 |
| ● 低溫強磁場模塊 | ● 壓電陶瓷驅動探針托或者互感托靠近樣品表面 | ● 外置光學顯微鏡進行實時監(jiān)測 |
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