費勉儀器開發(fā)的超高真空原位輸運測量系統(tǒng)集成了分子束外延(MBE)、原位電極蒸鍍、原位微區(qū)探針(M4PP)輸運測量和原位互感磁化率測量等功能。具備低溫(4K)、強(qiáng)磁場(9T)和超高真空(E-10mbar)可實現(xiàn)薄膜制備以及原位物性測量。探針托、互感托均基于標(biāo)準(zhǔn)的旗形樣品托設(shè)計,可以實現(xiàn)與其他表征或測試設(shè)備互聯(lián)。微區(qū)四探針(M4PP)輸運測量和原位互感;兩種實驗手段結(jié)合,可以同事研究超導(dǎo)體的零電阻和完全抗磁性兩大特征。
● 原位互感模塊,可以無損探測抗磁信號,研究超導(dǎo)薄膜的超導(dǎo)轉(zhuǎn)變 | ● 微區(qū)四探針模塊,可以實現(xiàn)薄膜樣品的原位電輸運測量 | ● 原位電極蒸鍍模塊,可以在真空腔內(nèi)味薄膜樣品制作輸運測量中所必須的探測電極 |
● 低溫強(qiáng)磁場模塊 | ● 壓電陶瓷驅(qū)動探針托或者互感托靠近樣品表面 | ● 外置光學(xué)顯微鏡進(jìn)行實時監(jiān)測 |
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