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原位輸運測量系統(tǒng) TEMA-200

無液氦原位輸運測量系統(tǒng),由進樣/制備室和分析室組成,可實現(xiàn)超高真空下的樣品傳遞及測量;兼容旗狀樣品托,采用無液氦制冷機和壓電陶瓷進針機制,特別適合原位生長薄膜的無損測試;可與MBE/PLD/SPUTTER等系統(tǒng)實現(xiàn)真空互聯(lián),完成薄膜樣品的(磁)電阻、霍爾效應(yīng)的測量(可擴充SQUID功能);系統(tǒng)預(yù)留了光學(xué)窗口,可實現(xiàn)光電聯(lián)用的測量。

規(guī)格說明
● 適用于薄膜樣品的原位生長和原位輸運測量 ● 真空傳遞的旗狀樣品托,可實現(xiàn)原位換針、樣品
● 準備腔具有樣品摻雜、刻蝕、解理、鍍膜等功能● 磁場夾角可調(diào),最大磁場強度達~10T
● 溫度范圍:5K~325K,最低可達4K(無液氦冷臺)● 測試通道數(shù):5

                                                                                                                                                                                               
標簽: 超高真空MBE
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