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原位輸運(yùn)測(cè)量系統(tǒng) TEMA-200

無液氦原位輸運(yùn)測(cè)量系統(tǒng)，由進(jìn)樣/制備室和分析室組成，可實(shí)現(xiàn)超高真空下的樣品傳遞及測(cè)量；兼容旗狀樣品托，采用無液氦制冷機(jī)和壓電陶瓷進(jìn)針機(jī)制，特別適合原位生長(zhǎng)薄膜的無損測(cè)試；可與MBE/PLD/SPUTTER等系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)真空互聯(lián)，完成薄膜樣品的（磁）電阻、霍爾效應(yīng)的測(cè)量（可擴(kuò)充SQUID功能）；系統(tǒng)預(yù)留了光學(xué)窗口，可實(shí)現(xiàn)光電聯(lián)用的測(cè)量。

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規(guī)格說明

● 適用于薄膜樣品的原位生長(zhǎng)和原位輸運(yùn)測(cè)量	● 真空傳遞的旗狀樣品托，可實(shí)現(xiàn)原位換針、樣品
● 準(zhǔn)備腔具有樣品摻雜、刻蝕、解理、鍍膜等功能	● 磁場(chǎng)夾角可調(diào)，最大磁場(chǎng)強(qiáng)度達(dá)~10T
● 溫度范圍：5K~325K，最低可達(dá)4K（無液氦冷臺(tái)）	● 測(cè)試通道數(shù)：5