5軸MBE高溫樣品架可提供樣品在X、Y、Z三個方向的平動和繞Z軸的旋轉(zhuǎn)角R1(Polar)、面內(nèi)旋轉(zhuǎn)角R3（Azimuthal）。其中，X、Y、Z、R1通過XYZ-R1真空位移臺實現(xiàn)， R3通過樣品架頭的齒輪傳動機構(gòu)實現(xiàn)。獨特的燈絲加熱結(jié)構(gòu)，保證樣品托溫度可達1200K。整個樣品操縱系統(tǒng)主要包括樣品桿、溫度控制系統(tǒng)、XYZ-R1位移臺三部分組成。整個樣品架及位移臺均使用無磁材料，可以在超高真空下使用。
● 樣品托最高溫：1200K （輻射加熱）， 1500K（電子束加熱）；
● 多自由度： X、Y、Z、R1、R3五個自由度運動；
● 精準控溫：PID控溫精度可達±0.1K；
● 兼容多種功能模塊；
| R1軸向旋轉(zhuǎn) | ±179° |
| X/Y 行程 | ±12.5mm |
| Z 行程 | 最大 300 mm |
| 面內(nèi)旋轉(zhuǎn) | 360° |
| ● 液氮冷卻模塊 | ● E-beam加熱 |
| ● 高低溫熱隔離模塊 | ● 紅外測溫組件 |
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