5軸MBE高溫樣品架可提供樣品在X、Y、Z三個(gè)方向的平動(dòng)和繞Z軸的旋轉(zhuǎn)角R1(Polar)、面內(nèi)旋轉(zhuǎn)角R3（Azimuthal）。其中，X、Y、Z、R1通過XYZ-R1真空位移臺(tái)實(shí)現(xiàn)， R3通過樣品架頭的齒輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。獨(dú)特的燈絲加熱結(jié)構(gòu)，保證樣品托溫度可達(dá)1200K。整個(gè)樣品操縱系統(tǒng)主要包括樣品桿、溫度控制系統(tǒng)、XYZ-R1位移臺(tái)三部分組成。整個(gè)樣品架及位移臺(tái)均使用無磁材料，可以在超高真空下使用。
● 樣品托最高溫：1200K （輻射加熱）， 1500K（電子束加熱）；
● 多自由度： X、Y、Z、R1、R3五個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)；
● 精準(zhǔn)控溫：PID控溫精度可達(dá)±0.1K；
● 兼容多種功能模塊；
| R1軸向旋轉(zhuǎn) | ±179° |
| X/Y 行程 | ±12.5mm |
| Z 行程 | 最大 300 mm |
| 面內(nèi)旋轉(zhuǎn) | 360° |
| ● 液氮冷卻模塊 | ● E-beam加熱 |
| ● 高低溫?zé)岣綦x模塊 | ● 紅外測(cè)溫組件 |
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