4軸MBE高低溫樣品架可提供樣品在X、Y、Z三個方向的平動和繞Z軸的旋轉(zhuǎn)角R1(Polar)。采用液氮制冷，樣品臺最低溫可達(dá)120K。獨特的燈絲加熱結(jié)構(gòu)，保證樣品托溫度可達(dá)1200K。主要由樣品桿、溫度控制系統(tǒng)、XYZ-R1位移臺三部分組成。整個樣品架及位移臺均使用無磁材料，可以在超高真空下使用。
| ● 樣品臺最低溫：120K； | ● 樣品托最高溫：1200K （輻射加熱）， 1500K（電子束加熱）； | |
| ● 多自由度： X、Y、Z、R1四個自由度運動； | ● 精準(zhǔn)控溫：PID控溫精度可達(dá)±0.1K； | ● 兼容多種功能模塊； |
| R1軸向旋轉(zhuǎn) | ±179° |
| X/Y 行程 | 15mm(±7.5mm) |
| Z 行程 | 最大 300 mm |
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