MBE系統(tǒng)中通常需要對多個蒸發(fā)源束流進行精準控制，較為適合的方法是使用氣動擋板與之配套，而氣動擋板需要接入氣路并通常使用電磁閥實現(xiàn)氣動擋板的開關。
費勉儀器的12路氣動擋板控制器可以連接控制最多12路電磁閥組，提供手動、遙控、自動三種控制模式。在手動模式下可使用面板操作氣動擋板；在遙控模式下可使用無線遙控器操作氣動擋板；在自動模式下則使用費勉儀器自主開發(fā)的軟件，可進行基本的開關控制，及實現(xiàn)多個氣動擋板之間組合的復雜時序控制。
| 1U機箱 | 用于控制最多12路氣動擋板 | 每一路輸出狀態(tài)獨立顯示 |
| 可兼容控制其他24VDC設備，不限于氣動擋板 | 支持3種操作模式（手動/自動/面板控制） | 支持RS485與TCP兩種通訊方式 |
| ● 型號：STU-485-24V12 | ● 機箱規(guī)格：1U全尺寸 | ● 電源電壓：85-264VAC（47~63Hz）全范圍交流輸入 |
| ● 額定功率：75W | ● 負載：24VDC供電集成閥組（默認9路2位5通單電控電磁閥，最大支持12路） | ● 控制方式：手動（無線遙控器與面板按鈕）/自動（軟件） |
| ● 通訊方式：RS485/TCP | ● 單路電磁閥功耗：0.8W | ● 響應時間：15ms以下 |
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