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遠程等離子源

本產(chǎn)品采用了新型遠程低溫等離子激勵技術,分離了等離子的發(fā)生室和處理室,具有激勵效率高、整體溫度低的特點。

規(guī)格說明
  兼容氣體空氣與氧氣  工作氣壓:5Pa-20Pa(推薦)  安裝法蘭:DN40CF
  散熱方式:水冷  使用頻率:40kHz


實物圖

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標簽: 超高真空MBE
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