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液化型高純臭氧系統(tǒng)

● 全金屬密封臭氧液化池
● 無硅膠吸附劑
● 閉循環(huán)制冷機(jī)自動(dòng)控溫
● 提純速度快,準(zhǔn)備時(shí)間只需30分鐘；提純1小時(shí)，能產(chǎn)出約4標(biāo)升高純臭氧氣體，可滿足大部分用戶十小時(shí)以上的生長需求
● 設(shè)計(jì)緊湊，尺寸 400*700*1200mm(高）
● 操作簡便，即起即停
● 高純臭氧應(yīng)用領(lǐng)域：化學(xué)氣相沉積（CVD），原子層沉積（ALD），氧化物生長，表面處理，粒子清潔，光刻膠去除，灰化等。

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測試曲線圖

—————— 實(shí)測飽和蒸汽壓數(shù)據(jù) ——————	—————— 臭氧輸出束流的穩(wěn)定性和持續(xù)性 ——————

—————— 注入腔氣壓與液化池溫度關(guān)系 ——————