該裝置可以在超高真空環(huán)境中對二維材料進(jìn)行原位剝離、堆垛,由超高真空腔體、四軸樣品停放臺、堆垛臺、解離臺(含壓力傳感器)、反套顯微鏡、RHEED等部件組成。
反套顯微鏡 | |||
特殊內(nèi)凹對接法蘭設(shè)計,可使鏡頭更好對焦在樣品表面 | 變倍機(jī)制靈活,手動或電動變倍可選 | 開放式的成像系統(tǒng),可自由集成自動聚焦、DIC、偏光、光譜分析等功能模塊,構(gòu)建全自動化機(jī)器視覺檢測系統(tǒng) | |
超高真空腔體及支架 | |||
超高真空標(biāo)準(zhǔn)腔體,SS316不銹鋼材質(zhì) | 符合超高真空標(biāo)準(zhǔn)的法蘭口 | 標(biāo)準(zhǔn)樣品托,可集成在樣品架上 | 固定支撐結(jié)構(gòu)在設(shè)備定位后將系統(tǒng)支撐不易晃動,更加牢 |
RHEED(反射高能電子衍射儀) | |||
由高能電子槍和熒光屏(裝在對面視窗上)組成 | 反映樣品表面的結(jié)構(gòu)信息 | 可用于研究晶體生長、吸附、表面缺陷等方面 | |
四軸樣品停放臺 | |||
由樣品停放臺、二維平移臺、線性驅(qū)動、緊湊型差分旋轉(zhuǎn)組成 | 可同時停放13個旗狀樣品托 | 頂部的樣品停放位可用顯微鏡觀測樣品 | 可實現(xiàn)X、Y、Z、θ方向移動 |
四軸高低溫樣品架 | |||
樣品臺溫度范圍:110K-600K | 可實現(xiàn)X、Y、Z、θ方向移動 | ||
RHEED屏顯微鏡 | |||
由顯微鏡、顯微鏡支架、三棱鏡、遮光罩組成 | 90°反射光路 | 結(jié)構(gòu)緊湊 | |
機(jī)械手 | |||
可實現(xiàn)各停放臺之間樣品托的轉(zhuǎn)移 | |||
解離臺 | |||
由解離臺、緊湊型差分旋轉(zhuǎn)、三角調(diào)平機(jī)構(gòu)組成 | 通過三角調(diào)平機(jī)構(gòu)來實現(xiàn)解離臺上單晶材料的水平度控制 | 與頂部的堆垛臺用銅辮子連接導(dǎo)冷 | 解離臺內(nèi)置壓力傳感器 |
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