您當(dāng)前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 科研儀器 > 樣品處理類 > 機(jī)械處理 > 二維材料解理轉(zhuǎn)移系統(tǒng) > 二維材料原位剝離堆垛裝置CLS... 
該裝置可以在超高真空環(huán)境中對(duì)二維材料進(jìn)行原位剝離、堆垛，由超高真空腔體、四軸樣品停放臺(tái)、堆垛臺(tái)、解離臺(tái)(含壓力傳感器)、反套顯微鏡、RHEED等部件組成。
| 反套顯微鏡 | |||
| 特殊內(nèi)凹對(duì)接法蘭設(shè)計(jì),可使鏡頭更好對(duì)焦在樣品表面 | 變倍機(jī)制靈活，手動(dòng)或電動(dòng)變倍可選 | 開放式的成像系統(tǒng)，可自由集成自動(dòng)聚焦、DIC、偏光、光譜分析等功能模塊，構(gòu)建全自動(dòng)化機(jī)器視覺檢測(cè)系統(tǒng) | |
| 超高真空腔體及支架 | |||
| 超高真空標(biāo)準(zhǔn)腔體，SS316不銹鋼材質(zhì) | 符合超高真空標(biāo)準(zhǔn)的法蘭口 | 標(biāo)準(zhǔn)樣品托,可集成在樣品架上 | 固定支撐結(jié)構(gòu)在設(shè)備定位后將系統(tǒng)支撐不易晃動(dòng)，更加牢 |
| RHEED(反射高能電子衍射儀) | |||
| 由高能電子槍和熒光屏(裝在對(duì)面視窗上)組成 | 反映樣品表面的結(jié)構(gòu)信息 | 可用于研究晶體生長(zhǎng)、吸附、表面缺陷等方面 | |
| 四軸樣品停放臺(tái) | |||
| 由樣品停放臺(tái)、二維平移臺(tái)、線性驅(qū)動(dòng)、緊湊型差分旋轉(zhuǎn)組成 | 可同時(shí)停放13個(gè)旗狀樣品托 | 頂部的樣品停放位可用顯微鏡觀測(cè)樣品 | 可實(shí)現(xiàn)X、Y、Z、θ方向移動(dòng) |
| 四軸高低溫樣品架 | |||
| 樣品臺(tái)溫度范圍:110K-600K | 可實(shí)現(xiàn)X、Y、Z、θ方向移動(dòng) | ||
| RHEED屏顯微鏡 | |||
| 由顯微鏡、顯微鏡支架、三棱鏡、遮光罩組成 | 90°反射光路 | 結(jié)構(gòu)緊湊 | |
| 機(jī)械手 | |||
| 可實(shí)現(xiàn)各停放臺(tái)之間樣品托的轉(zhuǎn)移 | |||
| 解離臺(tái) | |||
| 由解離臺(tái)、緊湊型差分旋轉(zhuǎn)、三角調(diào)平機(jī)構(gòu)組成 | 通過三角調(diào)平機(jī)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)解離臺(tái)上單晶材料的水平度控制 | 與頂部的堆垛臺(tái)用銅辮子連接導(dǎo)冷 | 解離臺(tái)內(nèi)置壓力傳感器 |
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