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EN 021-6525 3206

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二維材料原位剝離堆垛裝置CLST-1

該裝置可以在超高真空環(huán)境中對二維材料進(jìn)行原位剝離、堆垛,由超高真空腔體、四軸樣品停放臺、堆垛臺、解離臺(含壓力傳感器)、反套顯微鏡、RHEED等部件組成。

技術(shù)規(guī)格
反套顯微鏡
特殊內(nèi)凹對接法蘭設(shè)計,可使鏡頭更好對焦在樣品表面

變倍機(jī)制靈活,手動或電動變倍可選

開放式的成像系統(tǒng),可自由集成自動聚焦、DIC、偏光、光譜分析等功能模塊,構(gòu)建全自動化機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)


超高真空腔體及支架
超高真空標(biāo)準(zhǔn)腔體,SS316不銹鋼材質(zhì)符合超高真空標(biāo)準(zhǔn)的法蘭口標(biāo)準(zhǔn)樣品托,可集成在樣品架上固定支撐結(jié)構(gòu)在設(shè)備定位后將系統(tǒng)支撐不易晃動,更加牢
RHEED(反射高能電子衍射儀)
由高能電子槍和熒光屏(裝在對面視窗上)組成反映樣品表面的結(jié)構(gòu)信息可用于研究晶體生長、吸附、表面缺陷等方面
四軸樣品停放臺
由樣品停放臺、二維平移臺、線性驅(qū)動、緊湊型差分旋轉(zhuǎn)組成可同時停放13個旗狀樣品托頂部的樣品停放位可用顯微鏡觀測樣品可實現(xiàn)X、Y、Z、θ方向移動
四軸高低溫樣品架
樣品臺溫度范圍:110K-600K可實現(xiàn)X、Y、Z、θ方向移動

RHEED屏顯微鏡
由顯微鏡、顯微鏡支架、三棱鏡、遮光罩組成90°反射光路 結(jié)構(gòu)緊湊
機(jī)械手
可實現(xiàn)各停放臺之間樣品托的轉(zhuǎn)移


解離臺
由解離臺、緊湊型差分旋轉(zhuǎn)、三角調(diào)平機(jī)構(gòu)組成通過三角調(diào)平機(jī)構(gòu)來實現(xiàn)解離臺上單晶材料的水平度控制與頂部的堆垛臺用銅辮子連接導(dǎo)冷解離臺內(nèi)置壓力傳感器


標(biāo)簽: 超高真空MBE
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