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EN 021-6525 3206

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閉循環(huán)低溫樣品架-6軸

費勉儀器提供的6軸閉循環(huán)低溫樣品架可以實現(xiàn)樣品位置以及姿態(tài)的精確控制，它主要由低溫樣品桿、溫度控制系統(tǒng)、XYZ-R1位移臺、馬達控制系統(tǒng)四部分組成。整個樣品架及位移臺均使用無磁材料，可以在超高真空下使用。樣品臺可以在X、Y、Z方向大范圍移動，并可實現(xiàn)繞三個軸的旋轉(zhuǎn)運動（旋轉(zhuǎn)角R1、俯仰角R2、面內(nèi)旋轉(zhuǎn)角R3）。其中，X/Y/Z/R1通過XYZ-R1位移臺實現(xiàn)，R2和R3通過樣品桿的齒輪傳動結(jié)構(gòu)實現(xiàn)。 馬達控制軟件可以與ScientaOmicron的分析器聯(lián)動，實現(xiàn)automapping功能。

產(chǎn)品亮點
●  運行成本低：采用風（水）冷式GM制冷機提供冷量●  多自由度：可實現(xiàn)全馬達6軸控制●  操作便捷：即插即用，可長時間穩(wěn)定運行● 多種功能模塊可選
●  超低溫：樣品臺最低穩(wěn)定可達6K●  精準控溫：PID控溫精度可達10mK●  快速變溫：從室溫至6K，小于4小時

相關配件
●  樣品停放臺●  雙樣品低溫樣品臺●  高溫樣品臺（可選電子束加熱）● YAG臺
●  樣品浮動模塊●  低溫解理模塊●  四電極輸運測量模塊

技術規(guī)格
R1軸向旋轉(zhuǎn)
360°（-180°，+ 180°）
R2俯仰角旋轉(zhuǎn)
60°（-15°，+45°）
R3面內(nèi)角旋轉(zhuǎn)
240°（-120°，+ 120°）
X / Y行程
25mm（±12.5mm）
Z行程
最大650mm

4-軸5A-軸5F-軸5.5-軸6-軸
XY行程±12.5mm±12.5mm±12.5mm±12.5mm±12.5mm
Z行程最長700mm最長700mm最長700mm最長700mm最長700mm
XYZ驅(qū)動手動/馬達手動/馬達手動/馬達手動/馬達手動/馬達
XYZ精度＜0.01mm＜0.01mm＜0.01mm＜0.01mm＜0.01mm
R1范圍360°（-180°，+180°）360°（-180°，+180°）360°（-180°，+180°）360°（-180°，+180°）360°（-180°，+180°）
R1控制方式手動/馬達手動/馬達手動/馬達手動/馬達手動/馬達
R1控制精度＜0.1°＜0.1°
＜0.1°
＜0.1°
＜0.1°
R1減速比360:0.2360:0.2
360:0.2
360:0.2
360:0.2
R2（Flip)范圍————60°（-15°，+45°）60°（-15°，+45°）
60°（-15°，+45°）
R2驅(qū)動————馬達手動/馬達手動/馬達
R2精度————＜0.1°＜1°＜0.1°
R2減速比————360:9360:6360:3
R3（Azi)范圍——240°（-120°，+120°）——240°（-120°，+120°）
240°（-120°，+120°）
R3驅(qū)動——手動/馬達——手動
手動/馬達
R3精度——＜0.1°——手動＜1°＜0.1°
R3減速比——360:5——360:4.5360:4
溫度范圍＜4-325K＜5-325K
＜5-325K
＜6-325K
＜6-325K
最低溫度＜4K＜5K
＜5K
＜6K
＜6K
控制精度＜0.01K＜0.01K
＜0.01K
＜0.01K
＜0.01K
降溫時間＜3 Hour (RT-6K)＜4 Hour (RT-6K)
＜4 Hour (RT-6K)
＜5 Hour (RT-6K)
＜6 Hour (RT-6K)
降溫曲線

n41.png

標簽： 超高真空MBE
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