| ● 液氦制冷； | ● 多自由度：最高可達(dá)6自由度； | ● 溫度范圍：6K~400K； |
| ● 降溫速度：RT至10K，<15分鐘； | ● 兼容液氮：<65K 運(yùn)行（帶泵） | ● 高溫樣品臺（可選電子束加熱）； |
| R1軸向旋轉(zhuǎn) | 360°（-180°，+ 180°） |
| R2俯仰角旋轉(zhuǎn) | 60°（-15°，+ 45°） |
| R3面內(nèi)角旋轉(zhuǎn) | 240°（-120°，+ 120°） |
| X / Y行程 | 25mm（±12.5mm） |
| Z行程 | 最大650mm |
| 4-軸 | 5A-軸 | 5F-軸 | 5.5-軸 | 6-軸 | |
| XY行程 | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm |
| Z行程 | 最長700mm | 最長700mm | 最長700mm | 最長700mm | 最長700mm |
| XYZ驅(qū)動 | 手動/馬達(dá) | 手動/馬達(dá) | 手動/馬達(dá) | 手動/馬達(dá) | 手動/馬達(dá) |
| XYZ精度 | ＜0.01mm | ＜0.01mm | ＜0.01mm | ＜0.01mm | ＜0.01mm |
| R1范圍 | 360°（-180°，+180°） | 360°（-180°，+180°） | 360°（-180°，+180°） | 360°（-180°，+180°） | 360°（-180°，+180°） |
| R1控制方式 | 手動/馬達(dá) | 手動/馬達(dá) | 手動/馬達(dá) | 手動/馬達(dá) | 手動/馬達(dá) |
| R1控制精度 | ＜0.1° | ＜0.1° | ＜0.1° | ＜0.1° | ＜0.1° |
| R1減速比 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 |
| R2（Flip)范圍 | —— | —— | 60°（-15°，+45°） | 60°（-15°，+45°） | 60°（-15°，+45°） |
| R2驅(qū)動 | —— | —— | 馬達(dá) | 手動/馬達(dá) | 手動/馬達(dá) |
| R2精度 | —— | —— | ＜0.1° | ＜1° | ＜0.1° |
| R2減速比 | —— | —— | 360:9 | 360:6 | 360:3 |
| R3（Azi)范圍 | —— | 240°（-120°，+120°） | —— | 240°（-120°，+120°） | 240°（-120°，+120°） |
| R3驅(qū)動 | —— | 手動/馬達(dá) | —— | 手動 | 手動/馬達(dá) |
| R3精度 | —— | ＜0.1° | —— | 手動＜1° | ＜0.1° |
| R3減速比 | —— | 360:5 | —— | 360:4.5 | 360:4 |
| 溫度范圍 | ＜4-325K | ＜5-325K | ＜5-325K | ＜6-325K | ＜6-325K |
| 最低溫度 | ＜4K | ＜5K | ＜5K | ＜6K | ＜6K |
| 控制精度 | ＜0.01K | ＜0.01K | ＜0.01K | ＜0.01K | ＜0.01K |
| 降溫時間 | ＜3 Hour (RT-6K) | ＜4 Hour (RT-6K) | ＜4 Hour (RT-6K) | ＜5 Hour (RT-6K) | ＜6 Hour (RT-6K) |
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