費(fèi)勉儀器為超高真空復(fù)雜系統(tǒng)的樣品傳遞專門設(shè)計(jì)研發(fā)了圓形傳樣系統(tǒng)，該腔體采用超高真空兼容材料SS316，形似UFO，側(cè)面連接口可以對(duì)接不同的子系統(tǒng)，使樣品可以在真空環(huán)境下來回自由切換并進(jìn)行原位測(cè)量。
該傳樣系統(tǒng)機(jī)構(gòu)末端可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)距離伸縮運(yùn)動(dòng)，（發(fā)明專利號(hào)：ZL 2015 1 0661875.0），同時(shí)機(jī)械臂末端帶有樣品抓取頭用于樣品抓取。其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔高效，使得成本降低、操作簡(jiǎn)化，同時(shí)設(shè)計(jì)上注重不同超高真空實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的兼容性，擴(kuò)展了應(yīng)用的范圍，已有豐富的對(duì)接案例，如MBE、APRES、STM等。
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| RDC820 | RDC520 | |
| 腔體內(nèi)徑 | 700mm | 550mm |
| 機(jī)械臂安裝法蘭 | CF200 | CF200 |
| 觀察口法蘭 | CF150 | CF100 |
| 對(duì)接法蘭 | CF100 | CF100 |
| 機(jī)械臂旋轉(zhuǎn) | 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) | 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) |
| 機(jī)械臂伸縮距離（伸出法蘭口） | 820mm | 520mm |
| 拓展能力 | 最多可連8個(gè)子系統(tǒng) | 最多可連6個(gè)子系統(tǒng) |
| 旋轉(zhuǎn)重復(fù)精度 | ＜0.1° | ＜0.1° |
| 線性伸縮重復(fù)精度 | ＜1mm | ＜1mm |
| 最高烘烤溫度 | 120℃ | 120℃ |
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