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圓形傳樣系統(tǒng)

費(fèi)勉儀器為超高真空復(fù)雜系統(tǒng)的樣品傳遞專門設(shè)計研發(fā)了圓形傳樣系統(tǒng)，該腔體采用超高真空兼容材料SS316，形似UFO，側(cè)面連接口可以對接不同的子系統(tǒng)，使樣品可以在真空環(huán)境下來回自由切換并進(jìn)行原位測量。

該傳樣系統(tǒng)機(jī)構(gòu)末端可實(shí)現(xiàn)長距離伸縮運(yùn)動，（發(fā)明專利號：ZL 2015 1 0661875.0），同時機(jī)械臂末端帶有樣品抓取頭用于樣品抓取。其結(jié)構(gòu)簡潔高效，使得成本降低、操作簡化，同時設(shè)計上注重不同超高真空實(shí)驗系統(tǒng)的兼容性，擴(kuò)展了應(yīng)用的范圍，已有豐富的對接案例，如MBE、APRES、STM等。

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規(guī)格說明

	RDC820	RDC520
腔體內(nèi)徑	700mm	550mm
機(jī)械臂安裝法蘭	CF200	CF200
觀察口法蘭	CF150	CF100
對接法蘭	CF100	CF100
機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)	360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)	360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
機(jī)械臂伸縮距離（伸出法蘭口）	820mm	520mm
拓展能力	最多可連8個子系統(tǒng)	最多可連6個子系統(tǒng)
旋轉(zhuǎn)重復(fù)精度	＜0.1°	＜0.1°
線性伸縮重復(fù)精度	＜1mm	＜1mm
最高烘烤溫度	120℃	120℃