直線伸縮驅(qū)動通過真空外的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為真空內(nèi)的高精度的直線伸縮運動。采用SS316L材料焊接的波紋管密封，可適用于10-11mbar的超高真空環(huán)境，操作平穩(wěn)，精度高。
| ● 壓力范圍：1bar~10-11mbar | ● 最高烘烤溫度：150℃ | ● 焊接波紋管材質(zhì)：SS316L |
| ● 安裝法蘭：CF16法蘭、通孔 | ● 可接受定制 | ● 任意方向均可安裝 |
| 品名 | 直線伸縮驅(qū)動（LM） | ||||||
| 安裝法蘭 | CF16 | ||||||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 34 | |||||
| 英寸 | 1.33 | ||||||
| 行程(mm) | 25 | 50 | 100 | ||||
| A拉伸(mm) | 61 | 86 | 136 | ||||
| A壓縮(mm) | 36 | 36 | 36 | ||||
| B(mm) | 160 | 250 | 204 | 294 | 295 | 385 | |
| 驅(qū)動 | 手動 | 步進電機 | 手動 | 步進電機 | 手動 | 步進電機 | |
| 分辨率 | 0.01 | 0.005 | 0.01 | 0.005 | 0.01 | 0.005 | |
| 重量(kg) | 0.75 | 0.95 | 0.85 | 1 | 0.95 | 1.15 | |
| 型號 | LM16L25M | LM16L25A | LM16L50M | LM16L50A | LM16L100M | LM16L100A | |
| 訂購編碼 | 3041400002 | 3041400003 | 3041400004 | 3041400005 | 3041400007 | 3041400008 | |
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