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EN 021-6525 3206

您當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 科研儀器 > 薄膜制備類 > Sputtering核心部件 > 3英寸專用高溫樣品架...

規(guī)格說明
● 安裝法蘭:DN 350CF;● 襯底尺寸:3英寸;● 加熱器:SiC加熱器;● K型熱偶測溫;● 旋轉(zhuǎn)速度:0~30 RMP;
● 溫度范圍:RT-1000℃;● Z軸行程:50mm;● 定制長度;● 應(yīng)用領(lǐng)域:薄膜制備、脈沖激光沉積、磁控濺射

                                                                                                                                                                                               
標簽: 超高真空MBE
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