費勉儀器具有專業(yè)的腔體加工技術(shù)，采用氬弧焊或是一體成型技術(shù)等，超高真空兼容，適用于科研、新材料等場景，有蝶形、球形、鐘罩型等各種不同的形狀，腔體連接口的數(shù)量和大小可定制，材質(zhì)有SS316，SS304等等，表面處理有磨砂、拉絲、鏡面、電拋等多種工藝可選，滿足用戶不同需求。
| 腔體名稱 | 結(jié)構(gòu)示意圖 | 高度（mm) | 直徑（mm) | 角度公差（°） | 線性偏差（mm) | 極限真空（mbar) | 粗糙度(μm) |
| 圓筒形真空腔體 |
| ＜1500 | 42-2200 | ±0.5 | ±0.5 | 2×10-10 | ＜0.5 |
| 鐘罩形真空腔體 |
| ＜1500 | 150-2200 | ±0.5 | ±1 | 2×10-10 | ＜0.5 |
| 球形真空腔體 |
| / | 200-1200 | ±0.5 | ±0.5 | 5×10-10 | ＜0.5 |
| 蝶形真空腔體 |
| ＜1500 | 200-2200 | ±0.5 | ±1 | 5×10-10 | ＜0.5 |
| 長方形真空腔體 |
| / | / | ±0.5 | ±2 | 2×10-10 | ＜0.5 |
| 橢球形真空腔體 |
| ＜1500 | 70-2200 | ±0.5 | ±1 | 2×10-10 | ＜0.5 |
| MBE300 |
| / | 250 | ±0.5 | ±1 | 5×10-10 | ＜0.5 |
| MBE800 |
| / | 650 | ±0.5 | ±1 | 2×10-10 | ＜0.5 |
| 直線段真空腔體 |
| ＜1000 | ≥152 | ±0.5 | ±2 | 2×10-10 | ＜0.5 |
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