真空解理鍍膜系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)高功率激光器巴條的超高真空原位解理（Cleaving）、鈍化(Passivation)和光學(xué)鍍膜(Optical Coating)。在超高真空環(huán)境下進(jìn)行激光二極管巴條的原位解理，可獲得無缺陷、無污染的單晶解理面。解理后的巴條經(jīng)過圓形傳遞腔室（Cluster Tool）傳輸?shù)藉兡で皇疫M(jìn)行鈍化膜或光學(xué)膜蒸鍍。全流程在優(yōu)于2*E^-10 torr的超高真空環(huán)境下進(jìn)行，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量器件生產(chǎn)。

全自動化機(jī)械臂組件安裝于圓形傳遞腔室，具備360°旋轉(zhuǎn)和伸縮功能，可完成托盤在各個作業(yè)腔室的自動抓取和放置。機(jī)械臂配置激光傳感器以及視覺定位系統(tǒng)，以檢測機(jī)械臂在系統(tǒng)內(nèi)運(yùn)動實(shí)時狀態(tài)，并可進(jìn)行零點(diǎn)位置校正。

超高真空解理系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)巴條的手動或批量自動化解理和堆疊，提高生產(chǎn)效率。

鍍膜腔室基于費(fèi)勉標(biāo)準(zhǔn)MBE系統(tǒng)設(shè)計，根據(jù)鈍化層蒸鍍工藝需求可配置多種類型蒸發(fā)源包括電子束源（E-beam）、熱蒸發(fā)源（K-cell）、等離子源（Plasma）以及裂解源（Cracker)。通過使用BFM、QCM、RGA、RHEED等，可進(jìn)行膜層實(shí)時原位表征。腔室配置多維運(yùn)動樣品停放臺，可配合傳樣及鍍膜過程中所需運(yùn)動。各運(yùn)動軸搭配光電信號檢測系統(tǒng)，保證運(yùn)動重復(fù)性和安全性。鍍膜過程可全自動化控制，包括生長工藝Recipe編寫，自動生長控制以及不間斷數(shù)據(jù)記錄三大功能。各類溫度以及運(yùn)動等控制都可在PC端輕松操控，數(shù)據(jù)曲線讀取便捷。