真空解理鍍膜系統(tǒng)可實現(xiàn)高功率激光器巴條的超高真空原位解理（Cleaving）、鈍化(Passivation)和光學鍍膜(Optical Coating)。在超高真空環(huán)境下進行激光二極管巴條的原位解理，可獲得無缺陷、無污染的單晶解理面。解理后的巴條經(jīng)過圓形傳遞腔室（Cluster Tool）傳輸?shù)藉兡で皇疫M行鈍化膜或光學膜蒸鍍。全流程在優(yōu)于2*E-10 torr的超高真空環(huán)境下進行，實現(xiàn)高質(zhì)量器件生產(chǎn)。
全自動化機械臂組件安裝于圓形傳遞腔室，具備360°旋轉(zhuǎn)和伸縮功能，可完成托盤在各個作業(yè)腔室的自動抓取和放置。機械臂配置激光傳感器以及視覺定位系統(tǒng)，以檢測機械臂在系統(tǒng)內(nèi)運動實時狀態(tài)，并可進行零點位置校正。
超高真空解理系統(tǒng)可實現(xiàn)巴條的手動或批量自動化解理和堆疊，提高生產(chǎn)效率。
鍍膜腔室基于費勉標準MBE系統(tǒng)設(shè)計，根據(jù)鈍化層蒸鍍工藝需求可配置多種類型蒸發(fā)源包括電子束源（E-beam）、熱蒸發(fā)源（K-cell）、等離子源（Plasma）以及裂解源（Cracker)。通過使用BFM、QCM、RGA、RHEED等，可進行膜層實時原位表征。腔室配置多維運動樣品停放臺，可配合傳樣及鍍膜過程中所需運動。各運動軸搭配光電信號檢測系統(tǒng)，保證運動重復性和安全性。鍍膜過程可全自動化控制，包括生長工藝Recipe編寫，自動生長控制以及不間斷數(shù)據(jù)記錄三大功能。各類溫度以及運動等控制都可在PC端輕松操控，數(shù)據(jù)曲線讀取便捷。
| 快速進出樣腔 | |
 | ● 可裝載10層樣品托盤，單個托盤多工位； ● 紅外烘烤燈泡可進行快速樣品除氣； ● 遠程等離子清洗模塊，載樣托盤和樣品架等結(jié)構(gòu)件清潔，可有效提高清潔度和腔室真空度； ● 進樣和出樣腔室獨立操作，提高生產(chǎn)效率； |
| 圓形傳遞腔室 | |
| ● 側(cè)面多法蘭口，可對接多個子系統(tǒng)，且子系統(tǒng)獨立作業(yè)互不影響； ● 機械臂具備360°旋轉(zhuǎn)和伸縮功能； ● 配合傳感器等控制反饋實現(xiàn)全自動化傳樣； 真空解理腔 ● 實現(xiàn)巴條解理和堆疊； ● 單次可批量處理多工位樣品； |
| 鈍化鍍膜腔 | |
 | ● 多個底部法蘭口，可兼容熱爐源、電子束蒸發(fā)源、射頻等離子源、裂解源等； ● 襯底加熱器溫度650±0.5℃； ● 實時束流監(jiān)測，QCM晶振或BFM束流規(guī)； ● 實時膜層監(jiān)控RHEED； ● 多軸樣品停放臺實現(xiàn)樣品原位翻轉(zhuǎn)或配置獨立翻轉(zhuǎn)室； ● 自動生長系統(tǒng)，不間斷數(shù)據(jù)記錄； |
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