石英晶振QCM通過測(cè)量晶振片的諧振頻率和電阻，可以測(cè)量薄膜的質(zhì)量和厚度，常用來標(biāo)定蒸速。
| 高靈敏度：能夠檢測(cè)到極小的質(zhì)量變化 | 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)：實(shí)時(shí)反饋質(zhì)量變化，助力動(dòng)態(tài)研究 |
| 非破壞性：檢測(cè)過程完全無損，保護(hù)樣品 | 穩(wěn)定可靠：在各種環(huán)境下都能提供一致的測(cè)量結(jié)果 |
| 模塊描述 | 配置參數(shù) |
| 安裝法蘭 | DN38CF |
| 線性行程 | 200mm |
| 真空內(nèi)長(zhǎng)度 | 可定制 |
| 控制器 | SQM-160/STM-2 |
| 水冷 | 內(nèi)置水冷 |
| 最高烘烤溫度 | 150℃ |
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