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Z-R磁耦合驅(qū)動

Z-R磁耦合驅(qū)動我們采取了緊湊型的磁耦合結(jié)構(gòu)驅(qū)動,消除不必要動態(tài)密封件設(shè)計,確保真正的超高真空性能,提高可靠性和維護周期。

產(chǎn)品特點
  磁耦合驅(qū)動  適用于10-11mbar超高真空環(huán)境  最高烘烤溫度150℃
  材質(zhì)超高真空兼容材料  可連續(xù)360°旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)速度高達60 rpm  內(nèi)軸可25mm升降
  并提供Home功能


規(guī)格參數(shù)

品名Z-R磁耦合驅(qū)動(Z-R)
上端安裝法蘭CF35
法蘭

尺寸

毫米70
英寸2.75
下端安裝法蘭CF63
法蘭

尺寸

毫米114
英寸4.5
重量 (kg)12.0
型號Z-R63L25A
訂購編碼3049390002



測試曲線圖

image.png

標(biāo)簽: 超高真空MBE
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