通過(guò)中轉(zhuǎn)腔將手套箱與XPS互聯(lián),可確保樣品在處理(手套箱中)、運(yùn)輸(中轉(zhuǎn)腔中)和量測(cè)(XPS中)的過(guò)程中不暴露大氣。
● 箱體材料:SUS304不銹鋼 | ● 真空度:<5E-8 mbar(充分烘烤后) | ● 尺寸:1200×1000×900mm(可定制) |
● 選配:快門(mén),用于快速存取樣品 | ● 工位:單工位及以上,可依據(jù)需求更改 | ● 配備:線性傳樣桿和樣品停放臺(tái),方便樣品的傳輸和停放 |
● 配備:1個(gè)大過(guò)渡艙,1個(gè)小過(guò)渡艙 | ● 漏率:<5E-10 Pa.m3/s | ● 漏率:<0.02% vol/h |
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