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EN 021-6525 3206

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手套箱與XPS互聯(lián)

通過(guò)中轉(zhuǎn)腔將手套箱與XPS互聯(lián),可確保樣品在處理(手套箱中)、運(yùn)輸(中轉(zhuǎn)腔中)和量測(cè)(XPS中)的過(guò)程中不暴露大氣。

規(guī)格說(shuō)明
  箱體材料SUS304不銹鋼  真空度:<5E-8 mbar(充分烘烤后)  尺寸:1200×1000×900mm(可定制)
  選配:快門(mén),用于快速存取樣品  工位:單工位及以上,可依據(jù)需求更改  配備:線性傳樣桿和樣品停放臺(tái),方便樣品的傳輸和停放
  配備:1個(gè)大過(guò)渡艙,1個(gè)小過(guò)渡艙  漏率:<5E-10 Pa.m3/s  漏率:<0.02% vol/h




           

實(shí)物圖

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標(biāo)簽: 超高真空MBE
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