樣品翻轉(zhuǎn)傳樣桿應(yīng)用在不同系統(tǒng)之間樣品的傳輸；可實現(xiàn)樣品翻轉(zhuǎn)180度的功能。該設(shè)計利用磁耦合的三軸傳輸臂，提供樣品夾取，線性和旋轉(zhuǎn)運動。
| ● 磁耦合驅(qū)動 | ● 適用于10-11mbar超高真空環(huán)境 | ● 最高烘烤溫度：150°C |
| ● 材質(zhì)：超高真空兼容材料 | ● 獨特的樣品夾持機構(gòu)，可線性和旋轉(zhuǎn)運動 | ● 可接受定制行程及樣品大小 |
| 規(guī)格參數(shù) | |||
| 品名 | 樣品翻轉(zhuǎn)傳樣桿 | ||
| 安裝法蘭 | CF35 | ||
| 法蘭 尺寸 | 毫米 | 70 | |
| 英寸 | 2.75 | ||
| A行程 (mm) | 450 | 600 | |
| B總長 (mm) | 853 | 1003 | |
| 重量 (kg) | 4.5 | 6 | |
| 型號 | DMTA35L450 | DMTA35L600 | |
| 訂貨編碼 | 3043010001 | 3043010002 | |
如何使用
該多功能傳樣桿具有獨特的晶圓夾持機構(gòu)。這使得晶圓可以通過集成彈簧機構(gòu)可靠地夾持。結(jié)構(gòu)堅固且設(shè)計避免過度壓縮。樣品的線性和旋轉(zhuǎn)運動通過不同行程的單個耦合器實現(xiàn)。晶圓夾持器的驅(qū)動方式是內(nèi)外磁鐵耦合。搭配不同尺寸的夾具，可實現(xiàn)2英寸到6英寸的尺寸選擇
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