費(fèi)勉儀器Demo系統(tǒng)一期正式交付

2020年4月27日，費(fèi)勉儀器科技（上海）有限公司（FERMI INSTRUMENTS）設(shè)計(jì)并搭建的Demo一期系統(tǒng)在公司內(nèi)部完成各項(xiàng)指標(biāo)驗(yàn)收，正式交付費(fèi)勉儀器科研產(chǎn)品部阿力甫教授團(tuán)隊(duì)。

薄膜制備、真空、低溫、等離子技術(shù)是費(fèi)勉儀器的四大技術(shù)方向，費(fèi)勉儀器整合自身優(yōu)勢(shì)，自主開發(fā)搭建一整套Demo系統(tǒng)，包括薄膜制備、真空互聯(lián)和分析測(cè)量部分，以便更好的服務(wù)客戶，提供更加專業(yè)的技術(shù)方案。
該系統(tǒng)平臺(tái)為FERMI INSTRUMENTS成熟產(chǎn)品，由費(fèi)勉代表性產(chǎn)品組成。此次交付為一期系統(tǒng)，包括超高真空薄膜生長(zhǎng)系統(tǒng)和圓形傳樣系統(tǒng)兩個(gè)模塊。

▲Demo系統(tǒng)一期交付成功

超高真空薄膜生長(zhǎng)系統(tǒng)

超高真空薄膜生長(zhǎng)系統(tǒng)Cubic腔體本底真空優(yōu)于5×10-10mbar；目前配有高溫蒸發(fā)源和mini電子束蒸發(fā)源，適用于多種材料生長(zhǎng)。
搭配樣品架為五軸高溫樣品架和四軸高低溫樣品架，其中：
五軸高溫樣品架最高工作溫度為1200K（熱輻射加熱）或 1500K（電子束加熱），控溫精度好于0.1℃，同時(shí)保證了樣品臺(tái)的多自由度運(yùn)動(dòng)與位置準(zhǔn)確性；
四軸高低溫樣品架除具備相同的高溫指標(biāo)外，可通過液氮冷卻到最低溫150K；

▲超高薄膜真空生長(zhǎng)系統(tǒng)	▲樣品臺(tái)多自由度運(yùn)轉(zhuǎn)

圓形傳樣系統(tǒng)RDC820

RDC820采用了超高真空中樞的思路，不銹鋼腔體標(biāo)配8個(gè)對(duì)接口，機(jī)械臂可以從任何一個(gè)口伸出820mm，伸縮比遠(yuǎn)優(yōu)于普通傳樣桿結(jié)構(gòu)。除了旋轉(zhuǎn)和伸縮自由度外，RDC820的機(jī)械臂還具有升降自由度，用來(lái)適應(yīng)不同系統(tǒng)之間的高度差異；機(jī)械臂配合彈道模塊可以實(shí)現(xiàn)360度的翻轉(zhuǎn)，用來(lái)配合不同系統(tǒng)之間不同的樣品取向；通過搭配標(biāo)準(zhǔn)的Flag Type Sample holder，機(jī)械臂可以通過一個(gè)特制的機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)樣品托的取放。此圓形傳樣系統(tǒng)為之后連入更多不同功能的系統(tǒng)預(yù)留了充足的擴(kuò)展空間。

▲圓形傳樣系統(tǒng)RDC820

▲機(jī)械臂360°自由翻轉(zhuǎn)	▲機(jī)械臂自由伸縮

這是費(fèi)勉儀器第一次在公司內(nèi)部正式交付一套整機(jī)系統(tǒng)，將作為公司內(nèi)部系統(tǒng)教學(xué)培訓(xùn)平臺(tái)和對(duì)外技術(shù)展示窗口，一期系統(tǒng)將主要用于薄膜制備，為客戶提供蒸發(fā)源應(yīng)用于各種材料生長(zhǎng)所需要的專業(yè)數(shù)據(jù)。在此基礎(chǔ)上，未來(lái)還將利用低溫、等離子技術(shù)的優(yōu)勢(shì)陸續(xù)對(duì)接不同費(fèi)勉儀器產(chǎn)品，如擴(kuò)展超高分辨角分辨光電子能譜測(cè)量系統(tǒng)等。費(fèi)勉儀器擁有強(qiáng)大的系統(tǒng)集成和研發(fā)能力，我們希望與國(guó)內(nèi)外更多優(yōu)秀科研工作者合作，持續(xù)提供更加專業(yè)的技術(shù)服務(wù)和完善的解決方案。