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材料放氣率測(cè)試系統(tǒng)OGMS-100由真空抽氣模塊、小孔流導(dǎo)法測(cè)量模塊、溫度控制模塊與質(zhì)譜分析模塊等四部分組成。該系統(tǒng)采用小孔流導(dǎo)法，通過(guò)在不同溫度下對(duì)主腔室、測(cè)試腔以及對(duì)照腔的真空檢測(cè)，可以計(jì)算出材料在不同溫度下的放氣率。系統(tǒng)采用完全對(duì)稱的雙測(cè)試腔室結(jié)構(gòu)，可以排除腔體本底放氣以及其他部件放氣對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響，使結(jié)果更具真實(shí)性。同時(shí)，系統(tǒng)在測(cè)試腔和對(duì)照腔配有質(zhì)譜分析模塊，可以動(dòng)態(tài)、實(shí)時(shí)、精確的對(duì)放氣成分進(jìn)行檢測(cè)和分析。
| 材料放氣率測(cè)試系統(tǒng)OGMS-100 | |
雙腔室結(jié) | 測(cè)試腔用于裝載待測(cè)材料，對(duì)照腔室為空腔，從而校正實(shí)驗(yàn)中本底放氣和其它干擾因素 |
| 小孔流導(dǎo)設(shè)計(jì) | 兩個(gè)腔體之間通過(guò)小孔相連，通過(guò)對(duì)氣體流動(dòng)的檢測(cè)，計(jì)算材料的放氣速率 |
| 高精準(zhǔn)性 | 檢測(cè)下限可達(dá)5×10-10（Pa·m3）/（s·cm2） |
| 適用性廣泛 | 可在不同溫度（RT-1100℃）和壓力條件下測(cè)量，滿足各種材料的測(cè)試需求 |
| 快速響應(yīng)性 | 從常壓到極限真空12小時(shí)，大幅提升測(cè)試效率 |
| 系統(tǒng)組成 | 配置描述 |
| UHV主腔室 | 標(biāo)準(zhǔn)立方腔體采用耐腐蝕不銹鋼（SS316）制造，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定性 |
| 配備高真空泵組，包括國(guó)際一線品牌分子泵和干泵，極限真空壓力5E-9mbar | |
| 測(cè)試腔與對(duì)照腔 | 柱狀腔體設(shè)計(jì)，極限真空平衡1E-8mbar |
| 溫度范圍RT-1100℃，控溫精度±0.5℃ | |
| 質(zhì)譜儀 | 可測(cè)量質(zhì)荷比≥200Th，分壓檢測(cè)分別達(dá)到1×10-11Pa |
| 對(duì)材料釋放的氣體成分進(jìn)行分子水平的定量和定性分析 | |
| 快速進(jìn)樣模塊（LL1和LL2） | 快速取放樣品，并可在12h內(nèi)完成從常壓到超高真空的轉(zhuǎn)變 |
| 支持樣品在腔室間的安全、便捷傳輸 | |
| 智能化控制系統(tǒng) | 標(biāo)準(zhǔn)化自動(dòng)控制軟件，支持質(zhì)譜儀、溫控模塊和真空系統(tǒng)的集成管理，一鍵啟停，可單獨(dú)控件 |
| 實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)狀態(tài)，支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)入、導(dǎo)出、查詢及截取篩選，實(shí)時(shí)顯示真空度、氣體分子量與時(shí)間或溫度關(guān)系，兼具2D圖標(biāo)及3D視圖 | |
| 加熱模式切換功能，手動(dòng)/自動(dòng)程序設(shè)定切換功能，可設(shè)定采樣周期，可定時(shí)啟動(dòng)，氣體分子量1-100可掃描可篩選，實(shí)時(shí)記錄系統(tǒng)操作流程 | |
| 內(nèi)置真空邏輯互鎖、烘烤與加熱互鎖及腔體過(guò)熱保護(hù)，控制界面防誤觸、確保設(shè)備和實(shí)驗(yàn)的安全性 |
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