費(fèi)勉設(shè)計(jì)一款多氣路面板用于提供優(yōu)于100ppt級(jí)別高純紫外光源工作氣體，包含 He, Ne, Ar, Kr, Xe...等多種工作氣體，提高光子分辨率，延長(zhǎng)燈頭使用壽命。
| ● 精密氣體流量控制：0.1sccm-10sccm | ● 純度：純化后氣體純度優(yōu)于100ppt |
| ● 多路氣體切換 | ● 全金屬VCR超高純氣路標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì) |
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