費(fèi)勉儀器提供的ICP遠(yuǎn)程等離子體輔助ALD設(shè)備主要由等離子體模塊，氣路模塊和反應(yīng)腔組成，可提供定制ALD系統(tǒng)解決方案，滿足客戶不同樣品尺寸和反應(yīng)條件的需求。
| ● 使用模式：兼容連續(xù)沉積和駐留沉積模式 | ● 前驅(qū)體氣路：多路輸入結(jié)構(gòu)，可依客戶定制 | ● 溫度準(zhǔn)確性：±1℃ |
| ● 適用氣體：O2，H2，N2，NH3可用于產(chǎn)生等離子體 | ● 反應(yīng)腔溫度均勻性：≥99% | ● 等離子體電源：300W 射頻電源（含自動匹配器） |
收到資料后，我們的銷售人員/產(chǎn)品工程師將與您聯(lián)系
部分產(chǎn)品可根據(jù)您的需求定制
您的資料將全程保密
EN
021-6525 3206
您當(dāng)前位置：
全國服務(wù)熱線
詳詢產(chǎn)品信息