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UHV-SPM系統(tǒng)

掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope,SPM)是一種能夠在納米尺度上研究樣品表面形貌和物理化學(xué)性質(zhì)的高分辨率顯微鏡。它通過探針與樣品表面相互作用,檢測兩者之間的物理量變化,從而實(shí)現(xiàn)成像。其廣泛應(yīng)用于物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)、生物學(xué)和納米技術(shù)等領(lǐng)域。例如:研究材料的表面形貌、納米結(jié)構(gòu)和原子排列;研究材料的電學(xué)、磁學(xué)、力學(xué)性質(zhì);應(yīng)用于納米加工與操控,實(shí)現(xiàn)對器件表面的原子級別操控和成像比如原子移動(dòng)、表面修飾等。掃描探針顯微鏡憑借其高分辨率和多樣化的成像模式,已成為納米科學(xué)研究中不可或缺的工具。

主要特點(diǎn)
● 模塊化設(shè)計(jì)● 便捷的表面處理
● 可靠的樣品轉(zhuǎn)移● 低液氮、液氦消耗



                                                                                               
可選模塊
● 1K pot● 磁場● 定制控制系統(tǒng)
● 音叉探針● 光學(xué)通道● 可擴(kuò)展光學(xué)通道
● 快速降溫與變溫測量● 模塊化安裝● 兼容flag樣品托及4電極樣品托
● 氦氣減振無液氦制冷機(jī),有效隔震,降低運(yùn)行成本



技術(shù)參數(shù)
真空度< 5 x 10-10 mbar
溫度范圍5K-300K
粗掃描范圍XY: ±2mm,  Z: 7mm
精細(xì)掃描范圍

XY:  4 um/1 um (RT/5K)@220V Z:  1.4 um/0.2 um

溫度穩(wěn)定性XY: < 0.2 nm/h  Z: < 0.1 nm/h
分辨率原子分辨率
功能STM,音叉式AFM
樣品架行程

X/Y: ±7.5 mm; Z: 300 mm (MAX); R1: 179°


標(biāo)簽: 超高真空MBE
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