MBE-600系統(tǒng)非常適合III-V,II-VI的材料應(yīng)用,該系統(tǒng)可以對1、2和3英寸襯底進(jìn)行外延,并且其垂直腔室設(shè)計以及各種先進(jìn)組件可實現(xiàn)逐層精確的外延。
MBE-600的突出特點是系統(tǒng)的高可靠性、多功能性和緊湊性,這些功能使MBE-600系統(tǒng)特別適合研發(fā)應(yīng)用及準(zhǔn)批量生產(chǎn)。MBE-600的標(biāo)準(zhǔn)版本包括10個源端口,其中7個法蘭尺寸為4.5英寸(DN63CF),3個法蘭尺寸為2.75英寸(DN35CF)。MBE-600的定制版本也涵蓋了特定的生產(chǎn)需求,例如超高真空解理鍍膜系統(tǒng)。
根據(jù)我們所有客戶的要求,我們提供不同種類的普通蒸發(fā)源,帶閥的裂化器源,氣體源和電子束蒸發(fā)源。通過使用BFM,QCM,RHEED,RGA等,可以獲得系統(tǒng)原位表征。費勉的MBE軟件包括生長工藝程序編寫、自動生長控制和不間斷數(shù)據(jù)記錄三大功能??梢詧?zhí)行生長工藝程序控制擋板運動,源爐溫度,襯底溫度,襯底旋轉(zhuǎn)速度和方向。保證最大的操作可重復(fù)性和安全性。控制軟件包括溫度曲線,真空壓力曲線,電源輸出功率曲線,各系統(tǒng)間傳樣等工藝需求功能。
MBE-600 手動傳樣系統(tǒng) | |
![]() | 可以進(jìn)行3inch襯底傳遞。費勉儀器將傳統(tǒng)的襯底轉(zhuǎn)移方法轉(zhuǎn)換為一個功能齊全的設(shè)備。該系統(tǒng)不僅可以提供水平線性運動進(jìn)行襯底轉(zhuǎn)移,而且可以在垂直方向上提供高達(dá)25 mm的移動空間以進(jìn)行上下運動來取出或放置襯底。該系統(tǒng)無需使用二次運動工具,降低了成本并極大地簡化了襯底傳輸技術(shù)。 |
MBE-600 Cluster 全自動傳樣系統(tǒng) | |
![]() | 可以輕松將襯底傳至各個腔室,而不會破壞MBE腔室真空度。Cluster Tool是安裝在UFO頂部或底部的機械臂組件,可360°連續(xù)旋轉(zhuǎn),目的是在整個MBE系統(tǒng)中轉(zhuǎn)移襯底;搭配線性驅(qū)動裝置,實現(xiàn)垂直方向0~50mm自由運動,目的是放置和抓取襯底。機械臂末端可搭配3inch襯底抓取頭,最大負(fù)載可達(dá)1kg。機械臂通過高扭矩磁耦合驅(qū)動器驅(qū)動機械臂旋轉(zhuǎn)至所需真空腔體端口,定位基片安裝在機械臂前端上,以檢測機械臂在系統(tǒng)模塊內(nèi)移動襯底的過程。 |
配置 | MBE-600 | |
生長室 | 腔體尺寸 | 450mm I.D. |
極限真空 | <2×10-10mbar | |
液氮冷屏 | 標(biāo)配 | |
冷屏通液氮后極限真空 | <5×10-11mbar | |
襯底加熱器最高溫度 | 1000℃ | |
襯底加熱器溫度穩(wěn)定性 | ±0.5℃ | |
襯底最大尺寸 | 3inch | |
襯底旋轉(zhuǎn) | 60RPM | |
蒸發(fā)源配置 | CF35×3/CF63×7 | |
獨立的蒸發(fā)源擋板 | 電機驅(qū)動 | |
離子規(guī) | 1×10-3~2×10-11mbar | |
烘烤溫度 | 200℃ | |
預(yù)處理 | 極限真空 | <2×10-10mbar |
預(yù)處理加熱器最高溫度 | 450℃ | |
離子規(guī) | 1×10-3~2×10-11mbar | |
進(jìn)樣室 | 極限真空 | <1×10-8mbar |
樣品停放臺 | 至少4+2 | |
紅外烘烤燈 | 選配 | |
全量程規(guī) | 1×103~5×10-9mbar | |
傳樣室 | 極限真空 | <5×10-10mbar |
傳樣時壓力 | <1×10-9mbar | |
手動/全自動 | 選配 | |
離子規(guī) | 1×10-3~2×10-11mbar | |
樣品停放臺 | 至少4+2 | |
系統(tǒng)控制 | 觸摸屏操作面板 | 加配 |
生長工藝程序編寫 | 加配 | |
自動生長控制 | 加配 | |
不間斷數(shù)據(jù)記錄 | 加配 | |
報警保護功能 | 加配 | |
聯(lián)鎖功能 | 加配 | |
選配 | CCD | 選配 |
手套箱 | 選配 | |
磷回收系統(tǒng) | 選配 | |
襯底紅外測溫系統(tǒng) | 選配 | |
真空照明系統(tǒng) | 選配 | |
SMS | 選配 |
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