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MBE-600 分子束外延系統(tǒng)

MBE-600系統(tǒng)非常適合III-V,II-VI的材料應(yīng)用,該系統(tǒng)可以對1、2和3英寸襯底進(jìn)行外延,并且其垂直腔室設(shè)計以及各種先進(jìn)組件可實現(xiàn)逐層精確的外延。

MBE-600的突出特點是系統(tǒng)的高可靠性、多功能性和緊湊性,這些功能使MBE-600系統(tǒng)特別適合研發(fā)應(yīng)用及準(zhǔn)批量生產(chǎn)。MBE-600的標(biāo)準(zhǔn)版本包括10個源端口,其中7個法蘭尺寸為4.5英寸(DN63CF),3個法蘭尺寸為2.75英寸(DN35CF)。MBE-600的定制版本也涵蓋了特定的生產(chǎn)需求,例如超高真空解理鍍膜系統(tǒng)。

規(guī)格說明

根據(jù)我們所有客戶的要求,我們提供不同種類的普通蒸發(fā)源,帶閥的裂化器源,氣體源和電子束蒸發(fā)源。通過使用BFM,QCM,RHEED,RGA等,可以獲得系統(tǒng)原位表征。費勉的MBE軟件包括生長工藝程序編寫、自動生長控制和不間斷數(shù)據(jù)記錄三大功能??梢詧?zhí)行生長工藝程序控制擋板運動,源爐溫度,襯底溫度,襯底旋轉(zhuǎn)速度和方向。保證最大的操作可重復(fù)性和安全性。控制軟件包括溫度曲線,真空壓力曲線,電源輸出功率曲線,各系統(tǒng)間傳樣等工藝需求功能。


MBE-600 手動傳樣系統(tǒng)


可以進(jìn)行3inch襯底傳遞。費勉儀器將傳統(tǒng)的襯底轉(zhuǎn)移方法轉(zhuǎn)換為一個功能齊全的設(shè)備。該系統(tǒng)不僅可以提供水平線性運動進(jìn)行襯底轉(zhuǎn)移,而且可以在垂直方向上提供高達(dá)25 mm的移動空間以進(jìn)行上下運動來取出或放置襯底。該系統(tǒng)無需使用二次運動工具,降低了成本并極大地簡化了襯底傳輸技術(shù)。

MBE-600 Cluster 全自動傳樣系統(tǒng)


可以輕松將襯底傳至各個腔室,而不會破壞MBE腔室真空度。Cluster Tool是安裝在UFO頂部或底部的機械臂組件,可360°連續(xù)旋轉(zhuǎn),目的是在整個MBE系統(tǒng)中轉(zhuǎn)移襯底;搭配線性驅(qū)動裝置,實現(xiàn)垂直方向0~50mm自由運動,目的是放置和抓取襯底。機械臂末端可搭配3inch襯底抓取頭,最大負(fù)載可達(dá)1kg。機械臂通過高扭矩磁耦合驅(qū)動器驅(qū)動機械臂旋轉(zhuǎn)至所需真空腔體端口,定位基片安裝在機械臂前端上,以檢測機械臂在系統(tǒng)模塊內(nèi)移動襯底的過程。




配置MBE-600
生長室
腔體尺寸450mm I.D.
極限真空<2×10-10mbar
液氮冷屏標(biāo)配
冷屏通液氮后極限真空
<5×10-11mbar
襯底加熱器最高溫度
1000℃
襯底加熱器溫度穩(wěn)定性
±0.5℃
襯底最大尺寸
3inch
襯底旋轉(zhuǎn)
60RPM
蒸發(fā)源配置
CF35×3/CF63×7
獨立的蒸發(fā)源擋板
電機驅(qū)動
離子規(guī)
1×10-3~2×10-11mbar
烘烤溫度
200℃
預(yù)處理極限真空<2×10-10mbar
預(yù)處理加熱器最高溫度
450℃
離子規(guī)1×10-3~2×10-11mbar
進(jìn)樣室極限真空<1×10-8mbar
樣品停放臺至少4+2
紅外烘烤燈選配
全量程規(guī)
1×103~5×10-9mbar
傳樣室極限真空<5×10-10mbar
傳樣時壓力<1×10-9mbar
手動/全自動選配
離子規(guī)1×10-3~2×10-11mbar
樣品停放臺至少4+2
系統(tǒng)控制觸摸屏操作面板
加配
生長工藝程序編寫
加配
自動生長控制
加配
不間斷數(shù)據(jù)記錄加配
報警保護功能加配
聯(lián)鎖功能加配
選配CCD選配
手套箱選配
磷回收系統(tǒng)
選配
襯底紅外測溫系統(tǒng)
選配
真空照明系統(tǒng)
選配
SMS選配
標(biāo)簽: 超高真空MBE
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