批量生產(chǎn)型MBE系統(tǒng)，經(jīng)濟高效產(chǎn)量高
最大外延9×4inch，4×6inch，15×3inch和32×2inch襯底；MBE日常工作全自動化：樣品傳送，束流標定，外延生長等；可實現(xiàn)24/7批量化生產(chǎn)模式。
配備原位監(jiān)測系統(tǒng)，實時監(jiān)控生長狀態(tài)
反射式高能電子衍射儀(RHEED)，束流規(guī)(BFM)，殘余氣體分析(RGA)，預(yù)留更多原位監(jiān)測設(shè)備安裝口，保留升級拓展能力。
系統(tǒng)占地空間小，容許雙生長腔模塊
模塊化腔室結(jié)構(gòu)系統(tǒng)占地空間小于同類型MBE系統(tǒng)，可支持兩個生長腔模塊，極大提高產(chǎn)量并允許不兼容的材料體系生長。
系統(tǒng)操作簡單，平均運行周期長
系統(tǒng)操作便捷，界面簡潔友好，自帶安全互鎖報警及防誤觸功能，模塊化多腔室構(gòu)型為各個腔室配備獨立的泵組及閘板閥，維護輕松方便，最大程度地保證系統(tǒng)正常運行時長。
| 配置 | MBE-2000 分子束外延系統(tǒng) | |
| 生長室 | 腔體尺寸 | 1300mm I.D. |
| 液氮冷屏 | 標配 | |
| 襯底加熱器最高溫度 | 1000℃ | |
| 襯底加熱器溫度穩(wěn)定性 | ±0.2℃ | |
| 襯底最大尺寸 | 9x4inch，4x6inch | |
| 襯底最大旋轉(zhuǎn)速度 | 40RPM | |
| 蒸發(fā)源配置 | CF200x12 | |
| 獨立的蒸發(fā)源擋板 | 電機驅(qū)動 | |
| 烘烤溫度 | 200℃ | |
| RHEED | 15~30KV | |
| RGA | 0-200amu | |
| 預(yù)處理 | 預(yù)處理加熱器最高溫度 | 800℃ |
| 進樣室 | 樣品停放臺 | 10個 |
| 紅外烘烤燈 | 選配 | |
| MBE軟件 | GUIDE軟件 | 標配 |
| 選配 | 出樣室 | 選配 |
| CCD相機 | 選配 | |
| 全自動手套箱 | 選配 | |
| 污染物回收系統(tǒng) | 選配 | |
| 二級磷回收系統(tǒng) | 選配 | |
| 泵車 | 選配 | |
| 真空照明系統(tǒng) | 選配 | |
| 襯底真實溫度監(jiān)測系統(tǒng)BTM-100 | 選配 | |
| 原子吸收光譜束流監(jiān)控系統(tǒng)AAFM-3 | 選配 | |
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